Gebraucht ASM A600 UHV-CP #9239214 zu verkaufen

ID: 9239214
Wafer handler With BROOKS AUTOMATION robot & pendant.
ASM A600 UHV-CP ist ein fortschrittlicher Hochvakuum Diffusionsofen und Zubehör für eine breite Palette von Leistungen in der Verarbeitung von Halbleitersubstraten entwickelt. A600 UHV-CP verwendet eine Einzonen-Kaltwand-beheizte Turbopumpe, eine induktionsbeheizte Warmwandturbopumpe und eine patentierte Zweizonen-Abschreckkammer, um hervorragende Leistung für Hochvakuumdiffusion zu bieten. Die Kaltwandturbopumpe reduziert den Vakuumdruck in der Chargenkammer auf weniger als 0,001 Torr mit einer Durchflussrate von bis zu 20 Liter/Minute. Die Warmwandturbopumpe mit integriertem Induktionsheizelement fegt effizient die Chargenkammer aus Partikeln und Dotierstoffen bei niedrigen Drücken. Mit der zweizonigen Abschreckkammer können Proben während des Diffusionsprozesses schnell abgeschreckt werden. ASM A600 UHV-CP bietet eine breite Palette von Prozesskontrollparametern, die angepasst werden können, um den Bedarf der Kunden an Temperaturrampen, Probenkühlung und Kontrolle der Diffusionsatmosphäre zu erfüllen. Das System umfasst ferner eine Fernbedienungsschnittstelle zur Überwachung und Steuerung des Diffusionsprozesses über das lokale Netzwerk sowie ein Datenerfassungssystem zur Erfassung und Anzeige von Prozessdaten. A600 UHV-CP ist ein integriertes System, das die hohe Präzision, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bietet, die notwendig sind, um überlegene Ergebnisse zu erzielen. Die Kombination aus robustem Design, fortschrittlichen Funktionen und ausgeklügelten Überwachungssystemen machen ASM A600 UHV-CP zur idealen Wahl für Anwender, die einen zuverlässigen und effizienten Hochvakuum-Diffusionsofen und Zubehör suchen.
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