Gebraucht ASM MIR 3000 #293639064 zu verkaufen

ASM MIR 3000
ID: 293639064
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
CVD Furnace, 12" (2) Chambers 2011 vintage.
ASM MIR 3000 ist ein hochmoderner Diffusionsofen, der speziell entwickelt wurde, um dünne und dicke Substrate bis zu einer Dicke von drei Zoll schnell und gleichmäßig zu erwärmen. Diese langlebige und robuste Ausrüstung ist in der Lage, Temperaturen bis zu 2.000 ° C zu verarbeiten, was sie zu einer idealen Wahl für Anwendungen im Bereich Metallätzen, Oxidwachstum und Dotierungsaktivierung macht. MIR 3000 verfügt über eine Inline-Leistungssteuerung, die eine präzise und konsistente Stromversorgung während des gesamten Ätzprozesses ermöglicht. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Erwärmung, eine gleichmäßige Ätzrate und wiederholbare Ergebnisse. Das Gerät verfügt auch über eine leistungsstarke Zwangsventilatorzirkulationsmaschine, die die Reaktionskammer kontinuierlich umwälzt und evakuiert, Kohlenstoffdiffusion und höhere thermische Masseneinflüsse eliminiert. Das fortschrittliche Design des Ofens ermöglicht eine gleichmäßige Erwärmung von Largesubstraten, während die effiziente spiralförmige Widerstandsherdspule eine gleichmäßige Leitung und einen zuverlässigen Betrieb garantiert. Die Herdspule ist in einer selbsttragenden Struktur untergebracht, die beim Beladen des Ofens mit großen Substraten jegliches Abhängen oder zusätzliches Gewicht eliminiert. ASM MIR 3000 bietet auch komfortable Funktionen wie ein programmierbares digitales Display, eine benutzerfreundliche programmierbare Zentraleinheit mit Speicherfunktionen und einfach zu bedienende Software für ein komfortables Prozessmanagement. Es verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten und mögliche Unfälle zu vermeiden, einschließlich integrierter Notabschalt- und Strahlenüberwachungsfunktionen. MIR 3000 ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für industrielle Prozesse und verschiedene Prüflabore, einschließlich solcher, die in der chemischen Dampfabscheidung (CVD), der schnellen thermischen Verarbeitung (RTP), der Ätzung und der Beta-Prüfung tätig sind. Aufgrund seines Temperaturbereichs kann ASM MIR 3000 auch in einer Vielzahl von Glühanwendungen eingesetzt werden. Insgesamt ist MIR 3000 ein vielseitiger Diffusionsofen, der bis zu drei Zoll dicke Substrate konsequent und zuverlässig verarbeiten kann. Dieser robuste Diffusionsofen ist eine ideale Wahl für geschäftige Industrie- und Laboranforderungen und bietet Kosteneinsparungen und einen effizienten Betrieb.
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