Gebraucht ASM MIR 3000 #9311068 zu verkaufen

ASM MIR 3000
ID: 9311068
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2020
CVD Furnaces, 12" 2020 vintage.
ASM MIR 3000 ist ein Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör von ASM International, einem amerikanischen Ingenieur- und Materialwissenschaftsunternehmen. Dieser Diffusionsofen dient zur Herstellung fortgeschrittener Halbleiterbauelemente einschließlich Gate- und Source/Drain-Regionen, Kontaktschichten, Silizidschichten und Dotierungsumverteilung. MIR 3000 bietet überlegene Reproduzierbarkeit in einem kleinen und kostengünstigen Paket. ASM MIR 3000 nutzt eine einzigartige Ofenstruktur, die einen geringen Platzbedarf bei ausgezeichneter Energieeffizienz und optimiertem Durchsatz ermöglicht. Der Ofen ist mit zwei Schleusenkammern mit niedriger thermischer Masse ausgestattet, die während des gesamten Prozesses eine verbesserte Temperaturgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit bieten. Das Design von MIR 3000 ermöglicht zudem schnellere Stabilisierungszeiten und schnelleres Radfahren für mehr Produktivität. ASM MIR 3000 ist ein Diffusionsofen für alle Silizium- und III-V-Anwendungen. Es verfügt über hoch kontrollierbare Atmosphären für Betriebstemperaturen bis 1150 ° C und bis zu 6 Atmosphärenlieferquellen für eine präzise Umweltkontrolle. Der Ofen verfügt über ein verbessertes Bewegungs- und Führungssystem für kontrollierte Infiltration und eine größere Querschnittsfläche für erhöhten Durchsatz. Darüber hinaus bietet MIR 3000 eine Vielzahl optionaler Atemschutzhäfen, um Sicherheitsrisiken vorzubeugen. Neben dem Diffusionsofen ASM MIR 3000 bietet ASM ein komplettes Sortiment an Zubehör für alle Ihre Produktionsbedürfnisse. Dazu gehören spezialisierte Wärmemanagementkomponenten wie Kühlarme, Verschluss- und Isolationssysteme sowie Prozessüberwachung und Unterstützung von Software und Hardware. Diese Elemente können dazu beitragen, Ihre Effizienz zu maximieren, Ausfallzeiten zu minimieren und Prozessparameter genau zu steuern. Die Vielseitigkeit von MIR 3000, die überlegene Prozesssteuerung und die angemessene Größe machen es zu einer guten Wahl für Testlabore und Serienanlagen. Durch die Nutzung seiner fortschrittlichen Prozessfähigkeiten können Unternehmen Verbesserungen bei Erträgen, Durchsatz, Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit erzielen. Egal, ob Sie einen Diffusionsofen für kleine oder große Prozesse suchen, ASM MIR 3000 ist eine gute Wahl für alle Ihre Halbleiterbedürfnisse.
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