Gebraucht ASM UHV-A600 #9144030 zu verkaufen

ASM UHV-A600
ID: 9144030
Wafergröße: 8"
Thermal HSG systems, 8".
ASM UHV-A600 Diffusionsofen ist für Hochleistungs-, Ultrahochvakuum-Inertgasanwendungen konzipiert. Dieser Ofen ist ein leistungsfähiges, vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug zur Entwicklung fortschrittlicher Materialien mit hervorragenden Ätzfähigkeiten und präziser Oberflächenvorbereitung. Dieser Diffusionsofen ist mit einem schnelllaufenden riemengetriebenen Heißzonenheizer ausgelegt, der Temperaturen bis zu 1400 ° C bereitstellen kann. Die heiße Zone ist von einer Quarzkammer mit M63 Schrauben umgeben, die einen bequemen Zugang zu einer bewachten Nachlastumgebung ermöglichen. Diese Nachlastumgebung sorgt für eine gleichmäßige und gleichmäßige Temperaturverteilung über die gesamte Kammer und ermöglicht dem Ofen eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit des Diffusionsprofils. Die Quarzkammer dient auch der Vermeidung von Verschmutzungen durch die Außenluft. Der Ofen ist mit einem leistungsstarken 8,5 kW HF-Generator und einem Heißzonenoszillator ausgestattet, um eine gleichmäßige Erwärmung des gesamten Ofenkörpers zu gewährleisten. Eine intuitive Touchscreen-Oberfläche führt den Bediener durch Einrichtung und Steuerung des Ofens. Die Steuereinrichtung umfasst auch ein Echtzeit-Datenerfassungssystem und die Möglichkeit, Daten zur Analyse in einen Computer zu exportieren. UHV-A600 Diffusionsofen verfügt auch über fortschrittliche Inertgassteuerungssysteme. Der Ofen kann so ausgebildet sein, dass er Argon, Stickstoff oder andere reaktive Gase für eine Reihe von Prozessanwendungen verwendet. Dies beinhaltet die Regelung von Durchflussraten, Druck und Strömungssteuerung des erwärmten Gases, um eine gleichmäßige Diffusion des Zielmaterials zu gewährleisten. Der Anwender kann das Ofentemperaturprofil auch innerhalb weniger Minuten auf seine gewünschten Parameter einstellen. ASM UHV-A600 Diffusionsofen verfügt auch über eine Reihe von Zubehör, um seine Effizienz und Flexibilität zu maximieren. Dazu gehören: ein Gasverteiler, eine Umlaufpumpe, ein 5-Kanal-Ventil und Filter, ein Luftmanometer und eine Entlüftungseinheit. Der Gaskrümmer sorgt für eine gleichmäßige Gasversorgung des Ofens und wird von einem leistungsstarken Motor angetrieben, um Anwendungen mit hoher Leistung zu unterstützen. Die Umwälzpumpe zirkuliert Gas innerhalb des Ofens, um eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der heißen Zone zu gewährleisten. Schließlich hilft die Entlüftungsmaschine, Gase aus der heißen Zone zu evakuieren und eine hohe Sauberkeit im Ofen zu erhalten. Dieser hochwertige Diffusionsofen bietet Anwendern ein hervorragendes Maß an Leistung und Zuverlässigkeit und ist eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen. Mit seinen fortschrittlichen Heizfähigkeiten und Inertgaskontrollsystemen ist UHV-A600 Diffusionsofen die perfekte Lösung, um den Anforderungen fortschrittlicher Fertigungsprozesse gerecht zu werden.
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