Gebraucht ASM UHV-A600 #9144820 zu verkaufen

ASM UHV-A600
ID: 9144820
Wafergröße: 8"
Thermal HSG system, 8".
ASM UHV-A600 ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das für das Wachstum von Laborkristallen verwendet wird. Diese fortschrittliche Ausrüstung ist für zuverlässige, sichere und reproduzierbare epitaktische Abscheidungsprozesse bei gleichzeitiger Erfassung genauer und wiederholbarer Daten konzipiert. UHV-A600 ist ein dediziertes Dünnschichtabscheidungssystem. Es nutzt die Turbo Molecular Pumping Unit von Varian, um die höchste Pumpgeschwindigkeit und die niedrigste elektrische Last in der Branche zu erreichen und gleichzeitig konstant hohes Vakuum zu erhalten. Dies hilft bei der Optimierung der Rohstoffabscheidungsraten und sorgt für Folien höchster Qualität. ASM UHV-A600 ist mit allen gängigen Wachstumssubstraten und Molekularstrahl-Epitaxie-Quellen kompatibel und mit einem 2D-Mapping-Array zur Überwachung der Substrattemperaturen ausgestattet, das eine präzise Kontrolle der Filmabscheidung ermöglicht. Die Maschine ist für einen hohen Durchsatz ausgelegt. Mit seinem fortschrittlichen Design sowie schnell reagierenden Elementen ermöglicht UHV-A600 eine schnellere Herstellung von Dünnschichtproben für die Weitwinkel-Röntgenbeugungsanalyse. Das Werkzeug ist mit einer Gasleitungsschnittstelle und mehreren Anschlüssen ausgestattet, um eine stabile, reine Umgebung ohne Oxidation für einen empfindlichen Abscheidungsprozess zu gewährleisten. ASM UHV-A600 beinhaltet auch eine vollautomatische Vorkonditionierkammer. Diese Kammer dient zur Entfernung von Oberflächenverunreinigungen vor der Filmabscheidung. Zusätzlich ist die Kammer mit einer Inertgasreinigungsanlage und Turbo Molecular Pumping (TMP) ausgestattet, um die Umgebung weiter zu optimieren. Zusätzlich zu UHV-A600 liefert Varian mehrere Heizelemente und Probenkammern für jeden Abscheideprozess. Zu diesen Elementen gehören Infrarot (IR) -Lampen, Widerstandsheizelemente und quarzverstärkte Lampen. Jedes sorgt für eine gleichmäßige Erwärmung zur Charakterisierung der Filmabscheidung. Darüber hinaus verfügen die Advanced UHV-Systeme über Mehrzonen-Diffusivheizungen, die ein komplexeres Wachstumsumfeld ermöglichen. ASM UHV-A600 enthält auch ein temperaturgesteuertes Substratfutter, das zur Feinabstimmung der Substratposition während der Abscheidung verwendet werden kann. Zusätzlich ist das Futter mit einer optionalen Probenkühlstufe ausgestattet, die eine präzise Kontrolle der Filmdicke ermöglicht. UHV-A600 umfasst auch fortgeschrittene Instrumentierung. Dazu gehört die ABelec 500 Spannungsversorgung, die stabile, wiederholbare Leistungen mit geringen Rauschspektren bietet. Dies gewährleistet eine genaue Darstellung des Abscheideprozesses und ermöglicht eine genaue Datenerfassung. Um das Modell zu vervollständigen, umfasst ASM UHV-A600 auch eine Vakuummanagementausrüstung. Das System ist darauf ausgelegt, eine präzise automatisierte Ventilsequenzierung durchzuführen, schnelle Zykluszeiten zu erzeugen und Handhabungsfehler zu reduzieren. Die Vakuumverwaltungseinheit umfasst auch eine Fernbedienungsstation zur Überwachung des Maschinenlaufs. Zusammen ist UHV-A600 ein fortschrittlicher und vielseitiger Diffusionsofen für Laborkristallwachstum. Es ist für zuverlässige, sichere und reproduzierbare epitaktische Abscheidungsprozesse bei der Erfassung genauer und wiederholbarer Daten konzipiert. Mit seinem zuverlässigen Werkzeugdesign sowie der fortschrittlichen Instrumentierung ist ASM UHV-A600 das perfekte Werkzeug für Dünnschichtabscheidungsprozesse.
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