Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257610 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S
ID: 9257610
Wafergröße: 8"
LP TEOS System, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S Diffusionsofen und sein Zubehör werden in Halbleiterherstellungsanlagen zur Erzeugung von thermischen und elektrischen Profilen eingesetzt, um die Diffusion von Dotierstoffen in die zu verarbeitenden Wafer zu ermöglichen. TEL ALPHA-8S verfügt über ein Quarzrohr-Außengefäß, das in einem temperaturgesteuerten Ofen eingehüllt ist, eine doppelte Infrarot-Lampenheizung zum gleichmäßigen Zünden von Wafern und einen vertikalen Hubmechanismus zum einfachen Entfernen und Beladen von Wafern. Darüber hinaus enthält der Diffusionsofen eine Vielzahl von Sensoren und Steuerungen, um die thermischen Parameter des Prozesses genau zu steuern. Das innere Gefäß von TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S wird aus hochreinem Quarz hergestellt, um dem thermischen Schock zu widerstehen und die hohen Temperaturen zu bewältigen, die der Diffusionsofen bei der Verarbeitung erreicht. Dieses Quarzmaterial wird regelmäßig gereinigt und auf Anzeichen einer Kontamination oder eines Zerfalls in der Struktur überprüft. Die Dual-Infrarot-Lampen werden exakt ausgerichtet und auf direkte Wärmestrahlung an der genauen Stelle und dem gewünschten Winkel eingestellt, was bei gleichmäßiger thermischer Erwärmung der Wafer hilft. Die Steuerung der thermischen Parameter wird durch die verschiedenen in ALPHA-8 S eingebauten Temperatursensoren weiter unterstützt. Diese Sensoren verfolgen die exakte Temperatur der Wafer jederzeit und ermöglichen eine enge Kontrolle des Prozesses. Der vertikale Hubmechanismus ergänzt auch die Steuerung des Prozesses, indem er ein präzises und effizientes Be- und Entladen von Wafern ermöglicht. Im Lieferumfang des TOKYO ELECTRON Alpha 8S Diffusion Ofens sind eine Tiegelheizung, Quarzchips und eine MC-Schaltbox enthalten. Der Tiegelerhitzer ist zur Erwärmung des Tiegels ausgelegt, der zur Aufnahme der Dotierstoffgase während der Verarbeitung verwendet wird. Die Quarzspäne werden verwendet, um eine gleichmäßige Temperatur in der gesamten Kammer durch Unterstützung bei der Wärmeübertragung und Isolierung der Wände zu halten. Die MC Switch Box dient zur präzisen Tempokontrolle der für die Diffusion erforderlichen thermischen und elektrischen Prozesse. Insgesamt präsentieren TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S Diffusion Ofen und sein Zubehör ein äußerst zuverlässiges und präzises System zur Dotierstoffdiffusion in Wafer. Die temperaturbeständigen Quarzkomponenten und die damit verbundenen Sensoren ermöglichen eine engmaschige Kontrolle des Prozesses sowie die genaue Ausrichtung der doppelten Infrarotlampen und des vertikalen Hubwerks. Das mit dem System mitgelieferte Zubehör bietet eine weitere Steuerung und Effizienz, die zur Optimierung des Diffusionsprozesses beitragen.
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