Gebraucht RUDOLPH FE III #9165606 zu verkaufen

RUDOLPH FE III
Hersteller
RUDOLPH
Modell
FE III
ID: 9165606
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
Wafer thickness measurement system, 6" 1995 vintage.
RUDOLPH FE III ist ein automatisiertes, computergesteuertes optisches Messtechnikinstrument zur Messung der Dünnschichtdicke, der Brechungsindizes sowie anderer Eigenschaften dünner Filme. Dieses Ellipsometer ist ein zerstörungsfreies Analysewerkzeug, das mit einer HeNe-Laserlichtquelle, einer Kombination aus zwei rotierenden Analysatoren sowie einem Detektor hergestellt wird. Der Laser misst die Phasenänderung und die Energieverschiebung des reflektierten Lichts von einem optisch flachen Substrat und leitet es durch einen drehbaren Kompensator und Analysator, wo er in zwei Strahlen gleicher Amplitude aufgeteilt wird. Diese Kombination von Polarisationselementen reflektiert und überträgt das Licht in Richtung des Detektors, wodurch ein messbares ellipsometrisches Signal entsteht. Der Detektor wandelt dann das ellipsometrische Signal in ein Spannungssignal um, das von dem Datenerfassungssystem aufgenommen und verarbeitet wird, das die Filmdicke, Brechungsindizes und andere Eigenschaften des Dünnfilms melden kann. Das Datenerfassungssystem verfügt außerdem über ein LCD-Display zum Anzeigen der aufgezeichneten Informationen und über einen externen Druckerport für die Ergebnisse, die in einer Datei gedruckt oder gespeichert werden sollen. RUDOLPH FEIII kommt auch mit einer Software-gesteuerten Benutzeroberfläche, die die automatische Einrichtung, den Betrieb und die Steuerung des Ellipsometerinstruments ermöglicht. Die Software kann angepasst werden, um die Analysewinkel, Laserintensität, Laserwellenlängen, Elliptizitätswinkel und viele weitere Einstellungen zu ändern, um die gewünschten Informationen zu erhalten. Die Messgrößen können auch auf erhöhte Genauigkeit eingestellt werden. Die Software ermöglicht es dem Benutzer auch, mehrere Messwerte des Probensubstrats zu erhalten und die Daten zu speichern, zu analysieren und abzurufen. Darüber hinaus ist die Kalibrierung in FE-III effizient, da Anwender verschiedene interne Kalibrierungsstandards verwenden oder externe Substanzen verwenden können. Die Zuverlässigkeit, Flexibilität, Präzision und Genauigkeit von FEIII macht es zu einem idealen Instrument für eine Vielzahl von Dünnschichttestanwendungen wie optische Bauelemente, Halbleiter, Solarzellen und mehr. Die intuitive Benutzeroberfläche, die automatisierten Funktionen und das integrierte Systemdesign machen FE III zu einer ausgezeichneten Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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