Gebraucht RUDOLPH FE IV #9314879 zu verkaufen

Hersteller
RUDOLPH
Modell
FE IV
ID: 9314879
Focus ellipsometer Light source: HeNe laser: 632.8 nm Laser diode: 780 nm Spot size: Test site: 12 x 24 µm De-skew: 125 µm Site by site: 50 µm Pattern recognition: Optional pattern recognition Edge / Gray scale detection Manual / Auto de-skew Reteach Wafer handling: 3-Axis robot With (3) cassettes: 100 mm to 200 mm Pre-aligner: Virtual flat / Notch finder X, Y Centering: ±50 µm Theta: ±0.1° De-skew: ±5 µm Stage: Accuracy: 7 µm over 200 mm Repeatability: ±1 µm Uptime: >95% MTBF: >1,500 hours.
RUDOLPH FE IV ist ein Ellipsometer auf dem Gebiet der spektroskopischen Ellipsometrie, einer zerstörungsfreien optischen Technik zur Messung der optischen, elektrischen und/oder strukturellen Eigenschaften eines Materials. RUDOLPH FE-IV ist ein computergesteuertes, zweistrahliges, einwelliges Ellipsometer, das bidirektionale Messungen durchführt, d.h. sowohl die einfallenden als auch die reflektierten Lichtwinkel auf einer Oberfläche messen kann. Es verwendet zwei unabhängige Lichtstrahlen, die kombiniert und moduliert werden können, um die komplexe Mueller-Matrix einer Probe zu messen, die eine genaue und schnelle Bestimmung der optischen Konstanten eines Materials ermöglicht. FE IV wurde entwickelt, um eine breite Palette von Materialien zu messen, darunter organische und anorganische Materialien, einschichtige und mehrschichtige Proben, dünne Filme, reflektierende und durchlässige Oberflächen und verschiedene Klassen von Molekülen und Substraten. Es bietet auch die gleichzeitige Messung mehrerer Proben über eine breite Palette von Probengrößen und -dicken, so dass maximale Flexibilität in der Probencharakterisierung. Im Betrieb wird aus einem Monochromator ein einfallender Strahl erzeugt und durch Polarisationsoptik in zwei Strahlen aufgeteilt. Die beiden Strahlen werden auf die Probe gerichtet und das reflektierte Licht wird dann mit linearen variablen Polarisationsfiltern gesammelt. Der Polarisationswinkel wird durch die Probe bestimmt und dann moduliert, was zu einer von vier Intensitätsmessungen führt. Diese Daten werden dann mit einer Reihe von mathematischen Algorithmen gesammelt und analysiert, um die optischen Konstanten, einschließlich der optischen Verstärkung oder des Verlusts, der Amplitude des Reflexionsvermögens, des Brechungsindex und des Extinktionsverhältnisses, zu ergeben. Die intuitive Benutzeroberfläche und die leistungsstarke Software von FE-IV ermöglichen eine einfache Bedienung aller Ebenen des Fachwissens und können mit Einzelkomponentensystemen für erweiterte Mehrstrahlkonfigurationen und die Abbildung der Oberflächentopographie verwendet werden. Die Probe ist in einem Präzisionsdrehtisch befestigt und kann in zwei Richtungen bewegt werden. Der Tisch ist vollständig drehbar und ermöglicht schnelle und genaue Messungen über den gesamten Winkelbereich sowohl für einfallendes als auch für Reflexionslicht. RUDOLPH FE IV beinhaltet eine umfassende Bibliothek von Funktionsmustern zum Vergleich, die eine genaue, wiederholbare Methode zur Messung von Materialien bietet.
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