Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #101449 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 Ascher/Etcher ist eine zweistufige, hochdurchsatz-, lithographieverträgliche, thermisch-chemische Verarbeitungsanlage, die zum Ätzen oder Aschen einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Kieselsäure, Quarz, Silizium, Germanium und anderen Halbleitern, entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, mit hoher Geschwindigkeit (über 90 Wafer pro Stunde) und mit hoher Gleichmäßigkeit zu arbeiten. Das Gerät AMAT 8300 ist mit einer Hochvakuum-Mehrstufenascherplattform und einer leistungsstarken Niedervakuum-Asche-/Ätzkammer ausgestattet, die einen einfachen Prozessdurchsatz ermöglicht. Die Hochvakuum-Maschine kann Drücke von bis zu 1.2E-7 Torr erreichen, so dass die Gleichmäßigkeit über den Prozess. Die durchgehende Wafer-Bearbeitungskammer ist für Niedervakuumoperationen optimiert. Die Hochdurchsatz-Ätz-/Aschekammer umfasst eine Prozessgasauswahl, einen Gasstromregler und einen Temperaturregler. Alle diese Komponenten werden empfindlich temperaturüberwacht und/oder verarbeitet, um eine optimale Steuerung des Prozesses zu gewährleisten. Das Endergebnis ist eine hervorragende Kantendefinition, geringer Flächenwiderstand und minimale Belastungseffekte mit typischen Verfeinerungen in verschiedenen Arten von Aschern oder Ätzern. APPLIED MATERIALS 8300 verfügt über eine patentierte, elektrodenlose Plasmaquelle mit Edelgasen, die eine hohe Vorhersagbarkeit von Prozessparametern ermöglicht. Dies gewährleistet eine Einheitlichkeit im gesamten Prozess. Das Werkzeug ist auch mit einem vorgeschalteten Gaskasten und einer Gasmischanlage ausgestattet, die es ermöglichen, Prozessgase genau und präzise zu messen und zusammen mit der Temperaturregelung zu überwachen. 8300 ist für einen ausgezeichneten Durchsatz ausgelegt. Das Hochvakuum-Modell kann bis zu 90 Wafer pro Stunde verarbeiten und das Niedervakuum-Gerät kann 45 Wafer pro Stunde verarbeiten. Dies bedeutet, dass es in der Lage ist, eine große Anzahl von Wafern unterschiedlicher Größe und Dicke schnell zu verarbeiten. AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 bietet zudem eine große Benutzerfreundlichkeit mit einer intuitiven Benutzeroberfläche (UI), mit der Anwender Prozesse einfach einrichten und ausführen können. Die Benutzeroberfläche enthält erweiterte Tools wie eine Rezeptbibliothek, einen Prozessmonitor und ein Verlaufsprotokoll. So können Anwender die Leistung ihres Prozesses schnell analysieren und entsprechend anpassen. Insgesamt ist AMAT 8300 Asher/Etcher ein äußerst robustes und zuverlässiges System zum Ätzen/Aschen unterschiedlichster Materialien für fortschrittliche Prozesse. Es ist für hohen Durchsatz und Gleichmäßigkeit konzipiert und bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche zum schnellen und einfachen Einrichten und Ausführen von Prozessen. APPLIED MATERIALS 8300 bietet hervorragende Prozessergebnisse und ein hohes Maß an Flexibilität und Skalierbarkeit.