Gebraucht SHIBAURA µASH 8100 #9234516 zu verkaufen

Hersteller
SHIBAURA
Modell
µASH 8100
ID: 9234516
Wafergröße: 8"
System, 8" (2) Chambers Processing type: Vacuum Mass flow controller (MFC): Gas number / Gas name / MFC Size (SCCM) Gas 1 / O2 / 2000 Gas 2 / O2 / 2000 Gas 3 / CF4 / 20 Gas 4 / CF4 / 20 Gauge: MKS Baratron 626A Range: 1.333kPa NS FFU-222 System DAIHEN CMC-10 Tuning control DAIHEN SGP-10B RF Generator DAIHEN SGM-10A Matcher.
SHIBAURA µASH 8100 ist eine Ätz- und Aschemaschine, die Infrarotstrahlung und Strahlungsanregungstechniken verwendet, um das gleichzeitige Ätzen und Aschen verschiedener Materialien zu ermöglichen. Das System hat Emissionen vom Infrarot bis etwa 200 nm empfindlich, die verwendet werden können, um eine breite Palette von anorganischen und organischen Materialien zu ätzen und zu aschen. Die Einheit benötigt typischerweise eine Ausrichtzeit von unter 5 Minuten, um den genauen Fokus der zum Ätzen und Aschen verwendeten Strahlung zu ermitteln, was einen sehr effizienten Prozess ermöglicht. Μ ASH 8100 hat eine sehr schnelle Ätzrate, die auf einer größeren Fläche von 5x5 cm bis zu 35000 nm/min erreichen kann, was eine schnellere und genauere Ätz- und Aschezeit ermöglicht. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, zusätzliches Gas auf den Zielbereich aufzubringen, was eine genauere und präzisere Ätzkontrolle über das zu behandelnde Material ermöglicht. Die Steuerung des SHIBAURA µASH 8100 erfolgt über einen PC, der mit dem Schaltschrank verbunden ist. Dadurch kann der Anwender die gewünschten Arbeitsparameter wie Ätz- und Aschezeit, Temperatur und Kammerdruck einstellen. Das Tool verfügt auch über eine Fernzugriffsfunktion, die es einem Techniker ermöglicht, die Anlagenleistung aus der Ferne zu überwachen, was eine hohe Diagnosefähigkeit ermöglicht. Μ ASH 8100 wird mit einem Sicherheitsmodell gebaut, das als Surround Signal Equipment bekannt ist und den Schutz des Benutzers vor Strahlung und anderen gefährlichen Gasen gewährleistet. Darüber hinaus umfasst das System eine mehrstufige Vorfiltereinheit, die die Reinheit der Arbeitskammer gewährleistet, und eine LED-Anzeige, die eine klare Sicht auf die aktuellen Arbeitsparameter bietet. Die Maschine enthält ein Handbuch, das eine umfassende Anleitung zur Einrichtung, Bedienung und Wartung liefert, die einfach und unkompliziert ist. Darüber hinaus bietet das Handbuch auch detaillierte Diagramme, Diagramme der Teile und Serviceinformationen. SHIBAURA µASH 8100 ist ein ideales Werkzeug für Anwender, die schnell Ätz- oder Aschematerialien für Forschung, Entwicklung und Produktion suchen. Seine schnelle Ätzrate, Fernüberwachung und Steuerungsfunktionen ermöglichen Benutzern eine effiziente und effektive Möglichkeit, Materialien für viele Anwendungen schnell zu modifizieren.
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