Gebraucht CANON PLA 501 #293643206 zu verkaufen

CANON PLA 501 ist ein Bauelement zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es handelt sich um einen Maskenausrichter, ein Werkzeug, mit dem ein Photomaskenmuster genau über einem Zielsubstrat positioniert wird, so dass Teile des Musters fokussiert und dann Licht ausgesetzt werden können. Dies ermöglicht eine präzise Ausrichtung des Musters auf das hergestellte Halbleiterbauelement, was zu höheren Ausbeuten und besserer Leistung führt. CANON PLA-501 ist ein Stepper, d.h. es verwendet die Step-and-Repeat-Technologie, um das Photomaskenmuster genau auszurichten und zu fokussieren. Es verfügt über eine maximale Ausrichtgenauigkeit von 1,5 µm, einen maximalen Auslösewinkel von 10 ° und eine maximale Feldgröße von 10 mm ø. Es ist sowohl mit einem telezentrischen Optiksystem als auch mit einem polygonalen Spiegelscanner ausgestattet, der sowohl hohe Genauigkeit als auch Überabtastbarkeit ermöglicht, was zu einer besseren Bildschärfe auch bei höheren Vergrößerungen führt. Die Laserquelle hat eine durchschnittliche Leistung von 450mW, mit einem Spannungsbereich von 10.5V bis 12V, geeignet für nahezu ultraviolette und sichtbare Absolutbelichtungen. PLA 501 ist ein hochautomatisiertes System mit einer programmierbaren digitalen Prozesssteuerung und einem Überwachungssystem zur tiefgreifenden Prozessanalyse. Die Benutzeroberfläche ist benutzerfreundlich und sehr intuitiv, mit einfachen Bedienelementen zum Ändern von Parametern, zum Überwachen von Prozessdaten, zum Ausführen von Diagnosen und zum Verwalten von Benutzerkonten. Die Softwarearchitektur gliedert sich in drei Hauptmodule, bestehend aus Prozessmodul, Betriebsmodul und Wartungsmodul. PLA-501 ist entworfen, um in einer Reinraumumgebung zu arbeiten, wie bei vielen Maskenausrichtern. Das Gerät verfügt über eingebaute Filter und Leitbleche sowie speziell entwickelte Geräusch- und Vibrationsunterdrückungssysteme, so dass es in einem strengen Reinraum mit minimalen Umweltstörungen verwendet werden kann. Um den reibungslosen und sicheren Betrieb des Geräts zu gewährleisten, bietet CANON eine breite Palette von Verbrauchsprodukten wie Fotoresists, Reinigungsmitteln und Linsenpflegeflüssigkeiten. CANON PLA 501 ist in der Halbleiterindustrie weit verbreitet und unterscheidet sich von seinen Wettbewerbern durch seine überlegene Genauigkeit, Geschwindigkeit, Benutzerfreundlichkeit und Zuverlässigkeit. Mit seiner kompakten Größe und fortschrittlichen Technologie kann es die anspruchsvollsten Fertigungsanforderungen erfüllen und für eine Vielzahl von Anwendungen wie Dünnschichttransistoren, dichte Speichertechnologien und Optoelektronik verwendet werden.