Gebraucht CANON PLA 501 #293644254 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
PLA 501
ID: 293644254
Mask aligner.
CANON PLA 501 ist ein Maskenausrichter für photolithographische Anwendungen, die eine hochauflösende, genaue Maskenausrichtung erfordern. Dieses System wurde für die automatisierte Ausrichtung von Photomasken mit großer Präzision konzipiert, was eine hohe Genauigkeit für empfindliche Photomasken-Muster ermöglicht. Sie besteht aus einem X-Y-Achsen-Ausrichttisch, einem Dual-Optical-Mikroskop, drei Retikeln und einer Projektionseinheit mit einer Fernabbildungslinse. Die Roboterausrichtungstabelle der X-Y-Achse treibt zwei Stockstufen an, die jeweils das Retikel und das Substrat mit einer Auflösung von 0,001 mm tragen. Dies bietet Benutzern die Möglichkeit, mehrere Substrate und Retikel genau auszurichten, ohne eine Verformung in der Substrat- oder Retikelposition zu verursachen. Darüber hinaus verfügt der Ausrichttisch über eine Stufenbewegungsstabilität, die eine hochpräzise photolithographische Belichtung ohne Vibrationen ermöglicht. Das duale optische Mikroskop wurde für eine genaue und zuverlässige Ausrichtung der Retikel und Substrate optimiert. Es besteht aus einem optischen Kopf mit hoher Vergrößerung mit einem Zoombereich von bis zu 30X. Das Mikroskop ist mit einer Dual-Glasfaser-Lichtquelle, einer einstellbaren Belichtungssteuerung ausgestattet und kann über einen dedizierten USB-Anschluss für die Fernbedienung einfach an einen Personalcomputer angeschlossen werden. Die drei Retikel enthalten jeweils Photomasken mit dem gewünschten Muster. Jede Maske ist entworfen, um die Formen und Materialien der Geräte zu definieren, die schließlich gedruckt werden. Die häufigsten Arten von Retikeln sind binäre Phasenverschiebungsmasken, abgeschwächte Phasenverschiebungsmasken, abwechselnde Blendenmasken und aberrationsfreie Masken. Die Projektionseinheit ist mit einer Fernprojektionslinse ausgestattet, die eine Belichtung des Musters auf der Maske auf dem Substrat ermöglicht. Es ist mit einem Belichtungssteuerungssystem (Belichtungssteuerbereich 0,05-32 Sekunden) ausgestattet und hat eine Verschlusszeit von bis zu 1/1000 Sekunden. Dies ermöglicht eine zuverlässige und wiederholbare Musterübertragung mit hoher Auflösung. Insgesamt ist CANON PLA-501 ein außergewöhnlich präziser und zuverlässiger Maskenausrichter, der sich für hochgenaue Photolithographieanwendungen eignet. Mit seiner hohen Auflösung und Genauigkeit ermöglicht es eine präzise Musterübertragung auf das Substrat mit minimaler Verzerrung.
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