Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML 340HT #5943 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML 340HT ist ein hochmoderner Maskenausrichter für die optische Lithographie. Es ist in der Lage, dichte, komplizierte mikroelektronische Geräte bis zu drei Mikrometer dick mit einer hohen Genauigkeit und Ausrichtung herzustellen. Die Maschine bietet höchste Präzision und außergewöhnliche Ergebnisse für anspruchsvolle Anwendungen. SVG 340HT Maskenausrichter besteht aus zwei Hauptkomponenten: einer Stufe zur Positionierung von Maske und Substrat und einer Projektionsoptik. Die Bühne bietet fünf Bewegungsrichtungen und eine X-Y-Auflösung von 0,5 Mikrometern. Es ist mit einem motorisierten Antrieb und Bewegungscodierern ausgestattet, um Bewegungsfehler zu erkennen, während ein Vakuumfutter das Brett und die Maske an Ort und Stelle hält. Das Projektionsoptiksystem verfügt über eine verbesserte UV-Projektionslinse, die ein präzises elliptisches Beugungsgitter enthält. Dies gewährleistet eine überlegene Bildgebung und überlegene Ausrichtungsgenauigkeit. Die Ausrichtung von Maske und Substrat wird durch die Ausrichtungstechnologie ASML 340HT erreicht. Die Maschine lokalisiert die Ausrichtungsmarken auf dem Substrat und berechnet die relativen Positionen der Maske und richtet sie dann aus. Dadurch können komplexe Masken in weniger Schritten und mit verbesserter Genauigkeit der Ausrichtung ausgerichtet werden. 340HT ist sehr vielseitig einsetzbar, da es mit verschiedenen Substraten, wie Quarz und Silizium, kompatibel ist. Es unterstützt eine breite Palette von Beleuchtungsquellen, von Standard-UV bis Extrem-UV (EUV). Es ist auch in der Lage, verschiedene Muster zu belichten und abzubilden, einschließlich 0,25, 0,45 und 0,65 Mikrometer Merkmalsgrößen. Die Maschine ist mit automatisierten Tools zur Leistungs- und Funktionsüberprüfung ausgestattet, die in Echtzeit Feedback zur Ausrichtungsgenauigkeit und Belichtungsgeschwindigkeit liefern. Es verfügt auch über eine hochauflösende Kamera, die das verarbeitete Muster anzeigt und eine sofortige Auswertung von Fehlern ermöglicht. Kurz gesagt, PERKIN ELMER 340HT ist ein leistungsstarker und präziser Maskenausrichter für präzise Mikrolithographieanwendungen. Sehr vielseitig und in der Lage, verschiedene Masken automatisch auszurichten, ist es die ideale Lösung für Anwendungen, die hohe Genauigkeit, Auflösung und Ausrichtung erfordern.