Gebraucht KLA / TENCOR 2125 #9186027 zu verkaufen

KLA / TENCOR 2125
ID: 9186027
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR 2125 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die automatisierte Wafer- und Maskeninspektion und -messung für die fehlerfreie Produktion anbietet. Das System bietet erweiterte Funktionen wie hochpräzise Optik und vollautomatische Wafer- und Maskenortung, Scannen und Analyse. Das Gerät ist mit einer achromatischen Schlitzprojektionskamera und einer telezentrischen Projektionsoptik ausgestattet. Die Schlitzkamera bietet ein größeres und homogeneres Sichtfeld, so dass das Werkzeug mehrere Schichten komplexer Formen mit größerer Genauigkeit erfassen kann. Die telezentrische Projektionsoptik gewährleistet eine gleichbleibende Bildqualität über ihr Sichtfeld und ermöglicht genauere Messergebnisse. Das Modell KLA 2125 verwendet eine Reihe von Algorithmen, um eine Vielzahl von Defekten zu erkennen und zu messen, einschließlich Verunreinigungen, Partikeldefekte und andere kritische Partikel. Diese Algorithmen analysieren die Bilder und erzeugen einen Konfidenzwert basierend auf den festgestellten Fehlern. Das Gerät umfasst auch ein integriertes, hochgenaues Messsystem für die laterale und vertikale Messung. Dies ermöglicht genaue und wiederholbare Messungen über den Wafer. Darüber hinaus bietet das Gerät Funktionen zur Messung von Kontrast- und schaltungskritischen Dimensionen. Die Maschine umfasst erweiterte Funktionen wie VTRF-Unterstützung (Referenzdatei mit variabler Toleranz), OCR (optische Zeichenerkennung) und Fehlerreparatur zur Entfernung von Verunreinigungen, Reparatur von Fotoresistfehlern und Musterfüllung für kritische Muster. Die VTRF-Funktion ermöglicht es dem Bediener, das Werkzeug an seine individuellen Anforderungen und Produktionsanforderungen anzupassen. Das Asset umfasst auch eine Reihe benutzerfreundlicher Funktionen wie einen Touchscreen-Monitor für einfache Navigation, ein intuitives Menümodell und eine breite Palette von Bildanpassungs- und Zoomfunktionen. Die Ausrüstung ist sehr flexibel und konfigurierbar, so dass sie für jede bestimmte Anwendung angepasst werden kann. Insgesamt ist das TENCOR 2125-System eine leistungsfähige und zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die automatisiertes Scannen, Analysieren und Messen bietet. Seine erweiterten Funktionen und benutzerfreundliche Schnittstelle machen es zu einer idealen Wahl für Halbleiterherstellung und Qualitätskontrolle.
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