Gebraucht KLA / TENCOR 2360 #293606935 zu verkaufen

KLA / TENCOR 2360
ID: 293606935
Brightfield inspection system.
KLA/TENCOR 2360 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur Erkennung und Identifizierung von Defekten an anspruchsvollen Mustergeometrien entwickelt wurde. Es bietet hochpräzise automatisierte Inspektion mit Hochgeschwindigkeitsdatenanalyse und verbessertem Durchsatz. Das System ist hochgradig konfigurierbar, mit einer Reihe von integrierten Modulen, die den Anforderungen verschiedener Anwendungen entsprechen. Die Hauptkomponenten der KLA 2360 sind Bildsensor, chromatische Bildgebungstechnik und optische Subsysteme. Der Bildsensor besteht aus einer variablen Anzahl von Zeilenkameras, die ein zweidimensionales Bild der untersuchten Mustergeometrie aufnehmen. Die chromatische Bildgebungstechnologie verarbeitet diese Bilddaten und isoliert potenzielle Fehlermerkmale mit einer Vielzahl von Algorithmen. Sobald potenzielle Fehlermerkmale identifiziert werden, wertet das optische Teilsystem die Merkmale aus und bestätigt deren Vorhandensein oder Fehlen. TENCOR 2360 bietet auch eine Reihe von erweiterten automatisierten Erkennungsoptionen wie automatische Geräteklassifizierung und -kennzeichnung, Prozesssteuerungsparameter, Datenextraktionsalgorithmen und eine breite Palette von Berichtsoptionen. Darüber hinaus können Benutzer ihre Einheit anpassen, um ihre genauen Anwendungsanforderungen mit Optionen wie Auflösung und Feld der Ansicht Einstellungen, Bildverbesserungssoftware, programmierbare Logik-Controller und Feature-Parameter-Extraktion. Die Maschine kann eine Reihe von Defekten bis zu 0,2 Mikrometer sowie komplexe Geometriemuster, Verschmutzungen und Überbrückungen erkennen. Das fortschrittliche Teilsystem Bildgebung und Optik ermöglicht die Minimierung von falschen Fehlererkennungen und eine verbesserte Fehlerisolierung, während seine leistungsstarke Datenanalyse die Erfassung und Verarbeitung von massiven Datenmengen in Echtzeit ermöglicht. 2360 ermöglicht eine direkte Verbindung zu einer Reihe von Host-Steuerungssystemen und bietet einen einfachen Einrichtungs-, Installations- und Betriebsprozess. Das Tool wurde entwickelt, um mehrere Systeme gleichzeitig zu unterstützen, und seine Benutzerkonsole kann für zwei gleichzeitige Benutzer aufgeteilt werden. Darüber hinaus sind die Komponenten des Asset wartungsfähig und aufrüstbar. Abschließend ist KLA/TENCOR 2360 ein hochgradig konfigurierbares und automatisiertes Modell zur Erkennung einer Reihe von Fehlern mit reduzierter Fehlererkennung und verbesserter Datenanalyse. Es ermöglicht eine einfache Einrichtung und Bedienung und bietet eine Reihe von Optionen und Funktionen für kundenspezifische Anwendungen.
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