Gebraucht LEICA / VISTEC MIS 200 #293671051 zu verkaufen

ID: 293671051
Inspection system.
LEICA/VISTEC MIS 200 ist eine anspruchsvolle Masken- und Waferinspektionsanlage, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es bietet hochauflösende Bildgebung sowohl von belichteten Filmmasken als auch von Wafersubstraten, so dass es die kleinsten Fehler auf den Masken und den Wafern schnell erkennen kann. Dieses System ist aufgrund seiner Kombination aus Optik, Elektronik und Software sehr zuverlässig, wodurch sichergestellt ist, dass alle Fehler präzise erkannt und abgebildet werden. Das Gerät enthält ein Stufen- und Wiederholungsmodul, das zahlreiche Masken- und Waferformate verarbeiten kann. Dieses Modul ermöglicht eine präzise Ausrichtung mit einer programmierbaren Stufe, die für jede Ausrichtung eine exakte Wiederholbarkeit bietet. Es verfügt auch über eine hochauflösende Optikmaschine mit Hellfeld- und Dunkelfeldbildverarbeitung, um weiterhin eine hohe Genauigkeit zu gewährleisten. Das Optik-Tool umfasst ein Multi-Objektiv-Design und eine Bildprojektion mit einem digitalen linearen Encoder für X- und Y-Koordinaten sowie eine einachsige Z-Achsen-Steuerung. LEICA MIS 200 umfasst auch eine umfassende Softwareumgebung. Diese Software bietet die Werkzeuge zur genauen Beurteilung von Wafern und Masken. Es kann sowohl offene als auch geschlossene Defekte in planaren und 3D-Bildern erkennen und analysieren sowie den von einem Defekt betroffenen Bereich bestimmen. Die Software bietet auch ein komplettes Fehlerprotokollierungsmodell und kann diese Ergebnisse in einer Vielzahl von Formaten anzeigen, einschließlich Querschnittsbildern, Konturkarten und Streuungsplots. Diese Ausrüstung ist für einfache Bedienung und Wartung ausgelegt. Es ist mit einer On-Board-Diagnose ausgestattet, um Probleme schnell und effektiv zu diagnostizieren und zu beheben. Der Benutzer kann auch auf Tutorials und Hilfedokumentationen zugreifen, um Hilfe bei der Konfiguration des Systems nach den Spezifikationen des Benutzers zu erhalten. Darüber hinaus verfügt es über automatische Kalibrier- und Optimierungsfunktionen, die das Gerät bei Bedarf kontinuierlich optimieren können. Insgesamt bietet VISTEC MIS 200 eine einzigartige und leistungsstarke Maschine für die Masken- und Waferinspektion. Mit seinen erweiterten Optik-, Software- und Wartungsfunktionen wurde dieses Tool entwickelt, um in dieser kritischen Branche beispiellose Leistung und Zuverlässigkeit zu bieten.
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