Gebraucht NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300 #9294762 zu verkaufen

NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300
ID: 9294762
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Overlay measurement system, 12" 2003 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CALIPER Q300 ist eine hochentwickelte und umfassende Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung. Es bietet genaue, automatisierte und konsistente Inspektion von kritischen lithographischen Masken- und Waferkomponenten, die bei der Herstellung einer Vielzahl von elektronischen Geräten verwendet werden. Das System besteht aus einem Objektivinspektionstisch (LIT), einer Schritteinheit zur Steuerung der Linsen am LIT, einer Optikstation (OS) mit drei separaten optischen Systemen, einer programmierbaren modularen Ausrichtungslupe (PAMM) Mikroskop, Inspektionsleistungsstation mit hochauflösender digitaler Bildaufnahmekamera und Roboterarm (RA) optimiert für Dornbelastung, Näherungsmessung und Präzisionsausrichtung von Teilen. Der LIT ist ein Präzisionstransporttisch mit verstellbaren und verriegelten Toleranzen, die in seine Oberfläche eingebettet sind, um sicherzustellen, dass alle optischen Komponenten auf der Plattform während des gesamten Inspektionszyklus in der gleichen Position bleiben. Dies ermöglicht der Maschine ein gleichmäßiges Ergebnis unabhängig von Verzerrungen, die durch Unterschiede in den Linsenausrichtungsparametern eingebracht werden. Das OS ist für den optischen Transport der Masken- und Waferkomponenten verantwortlich. Es besteht aus einem raum- und energieeffizienten optischen Design, das durch eine Vielzahl von Vergrößerungen eine maximale Auflösung bietet. Es beherbergt drei separate optische Systeme, das PAMM und die Inspektionsleistungsstation, die gleichzeitige Inspektionen und genauere Punktmessungen ermöglichen. Das PAMM ist ein Mikroskop mit erweiterten Sensor- und Bildanalysefunktionen. Seine automatisierten Extraktionsalgorithmen identifizieren und analysieren Masken- und Waferfunktionen wie Linienbreite, Tonhöhe oder andere kritische Dimensionen, die gemessen werden müssen. Die Inspektionsleistungsstation verwendet eine hochauflösende digitale Bildaufnahmekamera, um Bilder der Masken- und Waferkomponenten während des Inspektionsprozesses zu erfassen und zu speichern. Die Kamera sorgt für genaue Gleichmäßigkeit über die Masken- und Waferoberflächen und ermöglicht eine schnelle und genaue Gleichmäßigkeitsmessung. Der RA ist ein intelligenter Roboterarm zum Laden und automatischen Positionieren der Wafer- und Maskenkomponenten für möglichst genaue Messungen. Es ermöglicht dem Werkzeug auch die Bearbeitung eines Wafers in einem Schritt, was die Prozessgeschwindigkeit und Effizienz erhöht. ACCENT CALIPER Q300 ist ein fortschrittliches und effektives Instrument bei der Masken- und Waferinspektion. Die präzisen Optiksysteme in Kombination mit dem PAMM-Mikroskop, der hochauflösenden Digitalkamera und dem Roboterarm liefern konsistente Inspektionsergebnisse der kompliziertesten Komponenten für die Herstellung elektronischer Geräte.
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