Gebraucht SEMITOOL 270-ST #293663744 zu verkaufen

SEMITOOL 270-ST
ID: 293663744
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL 270-ST ist eine chemische bildgebende Ausrüstung, die einen lichtempfindlichen Photoresist auf die Oberfläche eines Wafers aufbringt. Das System nutzt einen einzigartigen Ansatz, um Photolack gleichmäßig und kontrolliert auf die Oberfläche des Wafers aufzubringen. Das Gerät verwendet eine programmierbare lineare Stufe, um den Wafer unter seine Abbildungsoptik zu bewegen. Mit einem patentierten „Button Spacing“ -Design verteilt 270-ST gleichmäßig eine sehr feine Fotolinie auf die Zielscheibenoberfläche. Die Maschine kann im eigenständigen Modus eingesetzt oder in eine SEMI-konforme Produktionsumgebung integriert werden. SEMITOOL 270-ST verwendet ein titrierbares Werkzeug, um Photoresist genau und konsistent anzuwenden. Dadurch kann die präzise Lieferung von Photolack in einer Reihe von Filmdicken auf den Wafer aufgebracht werden, um die Anwendungsanforderungen des Anwenders zu erfüllen. Das Modell ist kompatibel mit einer Vielzahl verschiedener Photolackmaterialien, einschließlich spezieller Systeme auf Epoxidbasis und universeller Systeme auf Silikonbasis. Das Gerät verfügt über eine branchenführende Fähigkeit, die messbare Dicke des Photolacks genau zu berechnen und genau zu liefern. Das System kann in einem Bereich von Schritten zwischen 0,5 μ m und 30 μ m eingestellt werden. Dieses Maß an Flexibilität ermöglicht es dem Gerät, die Anforderungen der gesamten Palette von Zielanwendungen zu erfüllen. Die Maschine ist mit automatisierten Waferzentrierungs- und Merkmalserkennungssystemen ausgestattet. Diese Eigenschaften ermöglichen es dem Werkzeug, einzelne Merkmale auf dem Wafer zu identifizieren, den Wafer korrekt auszurichten und den Fotolack genau auf die gewünschten Zielbereiche aufzubringen. 270-STs fortgeschrittene Fehlausrichtungsschulung sorgt auch dafür, dass die Konsistenz der Fotolackabscheidung über die gesamte Waferoberfläche erhalten bleibt. Das Modell kann auch mit einer Reihe von benutzerdefinierten Integrationssoftware-Tools integriert werden, um die Funktionalität weiter zu erhöhen. Die Leistung von SEMITOOL 270-ST wird durch seine Sicherheitsmerkmale weiter verbessert. Die Ausrüstung verfügt über integrierte Sicherheitssysteme, die Waferschäden oder Abrieb verhindern und das potenzielle Risiko einer Exposition gegenüber schädlichen Chemikalien reduzieren. Abschließend ist die hochentwickelte 270-ST ein branchenführendes Photolacksystem, das eine präzise und gleichmäßige Lieferung von Photolack auf die Waferoberfläche ermöglicht. Mit der patentierten „Button Spacing“ -Technologie kann das Gerät Photolack in Bereichen von 0,5 μ m bis 30 μ m aufbringen. Es verfügt über automatisierte Wafer-Zentrier- und Erkennungssysteme für präzise und konsistente Abscheidung. Die Maschine ist auch mit integrierten Sicherheitsfunktionen und einer Reihe von kundenspezifischen Software-Tools ausgestattet, um ihre Leistung weiter zu verbessern.
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