Gebraucht SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265378 zu verkaufen

SEMITOOL / RHETECH WST-306AC
ID: 9265378
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1997
Spray solvent system, 6" 1997 vintage.
SEMITOOL / RHETECH WST-306ACse photowidersetzen sich Ausrüstung ist ein Hochleistungs-photowidersetzen sich Verarbeitungssystem hat vorgehabt, den strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu entsprechen. Es ist eine äußerst zuverlässige, robuste Einheit, die Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm mit einer Prozesswiederholbarkeit von ± 2 μ m handhaben kann. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine extrem niedrige Betriebskosten und bietet maximalen Durchsatz bei minimaler Wartung des Bedieners. RHETECH WST-306AC Photoresist-Tool enthält einen Robotersubstratlader mit hoher Genauigkeit, automatisierter Substratbeladung, Entladung und Substratpräsentation. SEMITOOL WST-306AC ist mit Zwei-Kammer-Option ausgestattet und bietet zwei separate Kammern für die Verarbeitung eines Substrats, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Produktivität zu maximieren. Das Resistsprühgerät auf WST-306AC Anlage ist ein hochpräzises, partikelarmes Sprühgerät, das einen konstanten Druck und/oder eine konstante Strömung in einem dynamischen Bereich aufrechterhält. Das Modell verfügt außerdem über einen Meniskus-Regelkreis, der hilft, das Sprühmuster genau zu steuern und der Dicke zu widerstehen. Die Ausrüstung hat die Fähigkeit, Widerstände mit einer außerordentlich hohen Geschwindigkeit präzise anzuwenden, ohne dass bei der Widerstandsfüllung manuell eingegriffen werden muss. SEMITOOL/RHETECH WST-306AC System ist mit fortschrittlicher Bildgebungsoptik integriert, um eine verbesserte Prozesssichtbarkeit zu gewährleisten. Die bildgebende Optik überträgt ultrahochauflösende Bilder, mit denen detaillierte Informationen über Resistfüllmuster bereitgestellt werden können. Zusätzlich enthält das Gerät eine erweiterte Anzeigetafel für Nachrichten, um das Prozessergebnis anzuzeigen. Die Photoresist-Maschine RHETECH WST-306AC bietet mit ihrer beschichteten Glasoptik eine hervorragende optische Leistung und ist präzise mit der Laserinterferometrie für maximale Effizienz und genaue Bildverarbeitung ausgerichtet. Das Werkzeug ist auch mit einer erweiterten Steuerung ausgestattet, die eine präzise Kontrolle der Resistabscheidung, Temperatur und Druck ermöglicht. Darüber hinaus ist es hochautomatisiert, mit automatischer Substratkennung, automatischem Laden/Entladen und fortschrittlicher Selbstdiagnose. Abschließend WST-306AC SEMITOOL als ideale Plattform für die Photolackverarbeitung in der Halbleiterherstellung dienen. Das Modell zeichnet sich durch extreme Genauigkeit, präzise Prozesssteuerung und modernste Automatisierung aus, um den Anforderungen der modernen Halbleiterindustrie effektiv gerecht zu werden.
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