Gebraucht SVG 8028 #9396689 zu verkaufen

Hersteller
SVG
Modell
8028
ID: 9396689
Wafergröße: 5"
Tracker system, 5".
SVG 8028 ist eine photoistische Ausrüstung für die automatisierte photolithographische Verarbeitung von nanoskaligen Strukturen. Es ist ein zuverlässiges und pulsgrößensensitives System, das Polyvinylzimt (PVC) als Passivierungsmaterial verwendet. Dieses Gerät verfügt über eine breite Palette von Optionen und extrem präzise Steuerung der Parameter. 8028 besteht aus zwei Hauptkomponenten: dem Lichtquellenmodul oder LSM und dem Rasterelektronenmikroskop (SEM) mit seiner UV-Härtungskammer. Die Maschine kann über eine grafische Benutzeroberfläche eingerichtet und betrieben werden und die gleiche Software steuert das LSM, das SEM und die UV-Aushärtungskammer. Mit dem Rasterelektronenmikroskop (Rasterelektronenmikroskop) werden die Strukturen mit einem hochauflösenden und niederspannenden Elektronenstrahl abgebildet. Das Werkzeug ist in der Lage, Auflösung bis auf Sub-Nanometer-Niveau zu erreichen. Während sich der Elektronenstrahl entlang der Struktur bewegt, wird der Resist auf die Oberfläche abgeschieden und anschließend in der UV-Härtungskammer ausgehärtet. Der ausgehärtete Resist sorgt für eine isolierende Schicht. Das SEM ist bis zu 500x vergrößerbar und kann komplexe 3D-Strukturen analysieren. Mit dem SEM werden sowohl planare als auch topographische Detailmerkmale ausgewertet. Das Lichtquellenmodul (LSM) ist eine externe Lichtquelle. Es liefert einen monochromatischen Strahl mit variablen Parametern, einschließlich Leistung, Polarisation, Winkeleinfall und Wellenlänge. Das LSM bietet Zugriff auf verschiedene Optionen wie einen mehrfachen Einfallswinkel, polarisiertes Licht, variable Strahlfleckgröße, Laserstrahlfokussierung und Dunkelfeld/Hellfeldbeleuchtung. Es hat sich als zuverlässig und äußerst effektiv bei der Automatisierung der photolithographischen Verarbeitung erwiesen. Die UV-Härtungskammer arbeitet in Kombination mit dem LSM und SEM, um Resiststoffe mit hoher Leistung und stabiler Leistung während der Verarbeitung zu produzieren. Die Aushärtungskammer weist eine Präzisionstemperaturregelung auf, die ein hochstabiles Resistmaterial ermöglicht. Die Kammer ist auch mit einem akustischen Piezo-Asset und einem eingebauten Vakuum-Modell ausgestattet, um eine effektive Heilung zu gewährleisten. SVG 8028 ist eine äußerst vielseitige Ausrüstung im Bereich der Nanoverarbeitung. Es bietet eine zuverlässige und genaue Kontrolle über eine Vielzahl von Parametern und eine Vielzahl von Prozessoptionen. Das System ist in der Lage, hochpräzise 3D-Strukturen zu erzeugen und bietet eine hervorragende Auflösung für komplexe Nanostrukturen. Darüber hinaus ist es kosteneffizient und erfordert eine minimale Wartung.
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