Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9237246 zu verkaufen

ID: 9237246
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
System, 12" 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die eine bildgebende und strukturierende Technik verwendet, um nanoskalige Strukturen zu schaffen. Das System nutzt Beamprojektionsoptiken, die in der Lage sind, einen fokussierten Lichtstrahl von etwa 0,1 Mikrometer Breite auf einen Halbleiterwafer zu projizieren. Mit diesem Licht werden Muster in das Photolackmaterial geätzt, das die Strukturen auf nanoskaliger Ebene bildet. TEL ACT 12 bietet eine Kombination aus einem kurzen Brennbereich und einer hohen optischen numerischen Apertur. Die Einheit verwendet auch ein zum Patent angemeldetes Laserlichtbildgebungsverfahren zur Strukturierung im Nanoskalibereich. Dieses Verfahren verwendet einen Laserstrahl, der hoch fokussiert ist und eine extrem geringe Divergenz aufweist und somit eine außergewöhnliche Auflösung auf einer Nanometerskala ermöglicht. Die Maschine bietet auch ein fortschrittliches Steuerwerkzeug mit fortschrittlichen Bearbeitungswerkzeugen zur Musteroptimierung, was die Halbleiterbauelementproduktion erheblich verbessert. Die Plattform bietet Musteroptimierung mit hoher Präzision, so dass nanoskalige Strukturen nach den genauen Spezifikationen des Chips gebaut werden können. TOKYO ELECTRON ACT12 verfügt zudem über eine hochentwickelte Substratausrichtung, die eine hohe Genauigkeit für die kontrollierte Platzierung der Photolackstrukturen bietet. Dies ermöglicht eine präzise Anordnung der Strukturen und Komponenten auf dem Wafer und reduziert auch Fehler der Ausrichtung oder Aberration der nanoskaligen Strukturen. Das Modell verfügt auch über eine fortschrittliche bildgebende Ausrüstung. Das in TEL/TOKYO ELECTRON ACT12 verwendete optische System ist in der Lage, Bilder mit einer Auflösung von 15 Nanometern zu projizieren, was eine Überwachung des Herstellungsprozesses der nanoskaligen Struktur ermöglicht. Schließlich bietet TEL ACT12 einen äußerst zuverlässigen und wiederholbaren Workflow-Prozess. Angetrieben wird das Gerät von der hochzuverlässigen Terapro Engine, die den gesamten Workflow-Prozess steuern kann. Die Terapro-Engine bietet eine genaue und zuverlässige Abfolge von Ereignissen für jeden Bildgebungsschritt, so dass ein konsistenter und zuverlässiger Bildgebungsprozess gewährleistet ist und somit Fehler im Produktionsprozess reduziert werden.
Es liegen noch keine Bewertungen vor