Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9241966 zu verkaufen

ID: 9241966
Coater / (2) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in einer Vielzahl von industriellen und wissenschaftlichen Anwendungen verwendet wird. Photolacksysteme beinhalten die Verwendung von Licht, um Bilder auf Oberflächen wie Siliziumscheiben, Metallplatten und Glas zu erzeugen. TEL ACT 12 System verwendet eine Kombination aus gepulsten und kontinuierlichen Beleuchtungsverfahren, um Bilder mit hoher Treue zu erzeugen. Das Gerät verfügt über eine hochgenaue, 120nm Auflösung mit 0,9degree Winkelgenauigkeit, sowie eine helle Lichtquelle mit einem Minimum von rund 900 mW/cm2. Die Bildprojektionsmaschine von TOKYO ELECTRON ACT12 besteht aus einer mehrfachfokussierbaren Linse, einer X-Y-Bühne und zwei bildgebenden Armen. Die Bilderzeugungsarme sind in der Lage, verschiedene Arten von Blitzbeleuchtung bereitzustellen, einschließlich gepulster Blitze (PL), kontinuierlicher Blitz (CL) und konstanter Spannung (CV). Das PL-Verfahren verwendet eine vorgegebene Impulsbreite, um den Photolack der gewünschten Lichtintensität auszusetzen. Das CV-Verfahren ermöglicht es dem Benutzer, die Spannung des projizierten Lichts mit einem variablen Tastverhältnis zu steuern, wodurch die Lichtintensität und die Auflösung präzise gesteuert werden können. Die Stufe von TEL/TOKYO ELECTRON ACT12 umfasst zweiachsig motorisierte Aktoren, die eine präzise Platzierung des Wafers oder Substrats ermöglichen, um genaue Bilder zu erzeugen. Die Bühne verfügt zudem über ein SmartRoute™ Werkzeug, das einen einfachen und effizienten Wafertransport und -positionierung ermöglicht. Das Asset enthält außerdem ein Vision-Modell, das die Bildsteuerung (Ausrichtung und Fokus) unterstützt und Anpassungen auf Basis von Echtzeit-Bildrückmeldungen ermöglicht. Insgesamt ist ACT12 eine Photoresist-Ausrüstung, die eine hochpräzise Bilderzeugung auf dem Substrat ermöglicht. Die Automatisierung und fortschrittliche Bildverarbeitungssysteme machen es zu einer idealen Wahl für Branchen wie die Halbleiterproduktion. Das verstellbare Linsensystem, zweiachsige motorisierte Aktuatoren und die SmartRoute™ Einheit sind alle vorteilhaften Merkmale, die diese Maschine bei der Steuerung und Erzeugung genauer Bilder äußerst nützlich machen.
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