Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9262481 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9262481
System.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine vollautomatische Photoresist-Ausrüstung, die überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Dieses System verwendet hochauflösende Abbildungsoptiken, präzise Bewegungssteuerung und fortschrittliche Software-Algorithmen, um die chemisch verstärkte Resistverarbeitungskonsistenz zu gewährleisten. Die Optik von TEL ACT 8 gibt ihm die Genauigkeit und Auflösung, die für die fotolithographische Bildgebung erforderlich sind. Die Optikeinheit schließt eine Hochleistungsquecksilberbogenlampe, einen optischen Kondensator, eine Beleuchtungsmaschine, ein optisch maskiertes Vorsprungswerkzeug ein, um auf die Oblate und eine Verarbeitereinheit mit regiogen gesteuerter Fokusmechanismus darzustellen, der entdecken, messen, und Fokus kontrollieren kann. Die Optik ist so konfiguriert, dass sie 3D-Bilder für maximale Genauigkeit aufnimmt. Das Chassis von TOKYO ELECTRON ACT 8 umfasst eine Außenbordmotor-Steuerung, die die Bewegung des hochpräzisen Roboterarms zur präzisen Positionierung der Maschine und Belichtung des Wafers antreibt. Dieses Modell enthält auch eine Spannvorrichtung, die die ordnungsgemäße Spannung der Maske während der Bildgebung und Bearbeitungsschritte gewährleistet. Die Software von TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist so konzipiert, dass sie gleichmäßige Abscheidungs- und Belichtungsparameter über jeden Teil des Wafers bereitstellt, der bearbeitet wird. Die Software umfasst auch mehrere Prozessparameter-Überwachungsfunktionen sowie Diagnose- und Feedback-Mechanismen, die eine Anpassung der Parameter ermöglichen, um eine konsistente Leistung zu erhalten. ACT 8 Photolackausrüstung ist das genaueste und zuverlässigste System auf dem Markt. Es eignet sich gut für die Herstellung von Halbleitern und Mikrosystemen sowie für andere photoresistbezogene Verfahren. Die Genauigkeit und Wiederholbarkeit dieses Geräts ermöglicht eine extrem präzise Bildübertragung und die Herstellung von Geräten höchster Qualität.
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