Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9314464 zu verkaufen

ID: 9314464
(2) Coater / (3) Developer system Dual block.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung mit fortschrittlicher chemischer Verarbeitung für die Photolithographie. Es nutzt die chemische Beamsplitting-Technologie, um hohe Präzision und Genauigkeit bei der Ätzung von Mustern auf Fotolackfolie zu bieten. Das System wird hauptsächlich in der Halbleiterherstellung und der Geräteherstellung verwendet und ist benutzerfreundlich und effizient. Das Gerät verwendet 4-Strahl-Scannen, um die Genauigkeit und Präzision des Musters zu maximieren, zusammen mit einem Auswerfer mit variablem Winkel, um die Kantenrauhigkeit zu reduzieren. Es nutzt auch Advanced Electron Beam Imaging (EBI) für hochauflösende Bildgebungsfunktionen. Mit EBI können Bilder bis zu einer Auflösung von 2,5 Mikrometern aufgenommen werden. Eine Anti-Moire-Funktion ist enthalten, um Bildverzerrungen zu verhindern. Die Maschine umfasst eine glasige Kohlenstoffstufe für Robustheit und Haltbarkeit, eine Inertgasreinigungsstation für Umweltfreundlichkeit und eine Edelstahl-Führungsplatte für präzise Belichtung. Die Serie behält eine stabile Resistdicke und CD (kritische Dimension) über Fotos bei. Das Fotolackwerkzeug wird mit einer Reihe von automatisierten und manuellen Steuerungen ergänzt. Es ist mit Automatisierungsfunktionen wie einer automatisierten Gasspülstation, einer Hochgeschwindigkeitskontrolle, die eine Hochgeschwindigkeitsbearbeitung von bis zu 150 m/s ermöglicht, und einer Offline-Musterbearbeitung ausgestattet. Darüber hinaus bieten manuelle Bedienelemente eine präzisere Kontrolle des Prozesses, einschließlich einer globalen Maskenbearbeitung, einer einstellbaren Lichtintensität und einer einstellbaren Maskenmustergröße. TEL ACT 8 ist sowohl benutzerfreundlich als auch umweltfreundlich konzipiert. Es erfordert wenig Wartung, und sein sauberes und offenes Design sorgt für eine sichere und komfortable Arbeitsumgebung. Die Anlage ist mit dem Qualitätsmanagementmodell ISO14001 für Umweltmanagementsysteme zertifiziert. Diese fortschrittliche Photolackausrüstung ist ideal für die Herstellung von Halbleitern und Bauelementen. Es bietet hochpräzise Muster, stabile Widerstandsdicke und hochwertige Bildgebung bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung eines umweltfreundlichen und benutzerfreundlichen Designs.
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