Gebraucht AXCELIS / FUSION Integra RS #293615015 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Integra RS Rapid Thermal Processor von FUSION ist eine fortschrittliche Halbleiterprozesskammer, die eine präzise, präzise thermische Verarbeitung für verschiedene Anwendungen und Märkte bietet. FUSION Integra RS verfügt über ein fortschrittliches Design, das eine maximale Kontrolle der Verarbeitungsparameter ermöglicht und eine unschlagbare Verarbeitungsqualität und Wiederholbarkeit ermöglicht. AXCELIS Integra RS Rapid Thermal Processor bietet zwei verschiedene Systeme, den Standard und Plus, die beide ein effizientes Wärmemanagement und eine präzise Temperaturgleichmäßigkeit bieten, die ausrichtungsbedingte Schäden reduziert. Mit den Standard- und Plus-Systemen können Anwender Spitzentemperaturen von 1450 ° C bzw. 1550 ° C erreichen. Letzteres bietet auch eine schnellere thermische Verarbeitung mit einer maximalen Rampenrate von 12.000 ° C/min, wodurch es für Anwendungen mit hoher Geschwindigkeit und hoher Leistung geeignet ist, während die Standardsorte bis zu 10.000 ° C/min erreichen kann. Integra RS Rapid Thermal Processor verfügt über mehrere wichtige Designmerkmale, die präzise, wiederholbare Ergebnisse gewährleisten. Seine Vakuumkammer ist in einem thermisch stabilen Gehäuse untergebracht und bietet Temperaturgleichförmigkeit, thermischen Wirkungsgrad und Temperaturregelung. Das hochkonfigurierbare Design ermöglicht es Anwendern auch, die Eigenschaften der Kammer an ihre genauen Anforderungen anzupassen. AXCELIS/FUSION Integra RS verwendet eine ultrapräzise Linearantriebsausrüstung für eine automatische Waferbewegung zum präzisen Be- und Entladen von Wafern. Seine hochmoderne Reaktionskammer bietet Anwendern eine fortschrittliche Gassteuerung, einschließlich einer präzisen Durchflussmenge und Drucksteuerung der Quellgase, und ein patentiertes Steuerungssystem zur Verwaltung des Massendurchsatzes. FUSION Integra RS Rapid Thermal Processor bietet eine Reihe von optionalen Füßen und Zubehör, einschließlich Oxidator, Reiniger, Stoßdämpfer und Quarz-Suszeptor, so dass Benutzer ihre Einheit nach Wunsch aktualisieren können. Seine fortschrittlichen Sicherheitssysteme verbessern die Benutzersicherheit und die Maschinenverfügbarkeit und schützen vor potenziellen Risiken der Hochtemperaturverarbeitung. Abschließend bietet AXCELIS Integra RS Rapid Thermal Processor eine beispiellose Leistung in der thermischen Verarbeitung, die es Anwendern ermöglicht, Erträge zu maximieren und Ertragsverluste zu reduzieren. Dieses fortschrittliche Tool bietet eine unschlagbare Kombination aus Geschwindigkeit, Genauigkeit, Temperaturgleichmäßigkeit und Kontrolle und ist somit eine ideale Wahl für eine Reihe von Halbleiterverarbeitungsanforderungen.