Gebraucht MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600XP #9262681 zu verkaufen

ID: 9262681
Weinlese: 2008
Rapid Thermal Annealing (RTA) system 2008 vintage.
MPTC/MPT MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600XP ist ein schneller thermischer Prozessor, der für die gleichmäßige Erwärmung und Kühlung von bearbeiteten Waferproben verwendet wird. Es verwendet eine Kombination aus Halogenlampe und einem Peltier-Effekt, um Substrate von Geräten schnell zu erhitzen, zu kühlen und zu glühen. Diese schnellen thermischen Prozesse werden in einer Vielzahl von Anwendungen wie schnelle thermische Oxidation, schnelle thermische Glühung, schnelle thermische Nitridation, schnelle thermische Diffusion und schnelle thermische Laserablation eingesetzt. MPTC RTP-600XP ist für maximale Präzision und Wiederholbarkeit in der Temperaturregelung ausgelegt. Die proprietäre Edge Energy Control Plate Technologie bietet eine präzise und gleichmäßige Leistungsverteilung am Umfang des Wafers mit einem extrem niedrigen thermischen Gefälle. MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600XP ist in der Lage, schnell bis zu Substrattemperaturen von bis zu 600 ° C hochzufahren und bietet auch Unterstützung für einzelne Wafer und parallele Konfigurationen, so dass es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Darüber hinaus verfügt RTP-600XP über leistungsstarke Sicherheits- und Sicherheitssysteme, die ihn vor Beschädigungen schützen und optimal am Laufen halten. Dazu gehören eine Leistungsüberwachungsschaltung mit Vorzeichen- und Übertemperaturschutz sowie Hardware-Schutzhüllen zum Schutz der Optik des Systems. Darüber hinaus verfügt das System über hocheffiziente, geräuscharme Lüfter, um eine effektive Kühlung des Systems und der Proben sowie die Kühlung der Optik zu gewährleisten. MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600XP ist einfach zu bedienen und bietet vielseitige Datenerfassungsfunktionen und anpassbare Waferrezepte. Es kann auch mit Automatisierungsgeräten und anwendungsspezifischer Software integriert werden, um eine vollautomatische Verarbeitung zu ermöglichen. Darüber hinaus eignet es sich aufgrund seines geringen Platzbedarfs und seines mobilen Designs gut für den Einsatz in Forschungs- und Qualitätssicherungsanwendungen. Insgesamt ist MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPT MPTC RTP-600XP ein idealer schneller thermischer Prozessor für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsarten. Es ist präzise, effizient und auf maximale Sicherheit und Wiederholbarkeit ausgelegt. Es bietet auch eine Reihe von nützlichen Funktionen, die es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet machen, während sein kleines Design und seine mobilen Fähigkeiten es für den Einsatz in kleineren Labors und Einrichtungen geeignet machen.
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