Gebraucht STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092862 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor ist eine spezialisierte Ausrüstung für die Verarbeitung von Wafern und anderen Halbleitersubstraten bei extremen Temperaturen. Das Gerät enthält zwei Hauptkomponenten: eine Kammer und einen Ableiter. Die Kammer ist eine vakuumfeste, doppelwandige Kammer mit einer Innenhülle, die hilft, die konzentrierte Wärme auf das Substrat zu trichten. Der Ableiter ist eine Reihe von neun Heizelementen, die individuell auf Temperaturen bis zu 1200 ° Celsius programmiert sind. Die enge Steuerung der Heizelemente und ihr schnelles Ansprechen machen AST SHS 2800E zur vielseitigsten Maschine seiner Klasse. STEAG SHS 2800E wird in erster Linie in der Halbleiterherstellung zur Schnellglühung, Diffusion und Verunreinigungsimplantation eingesetzt. Mit seiner hochmodernen Wärme-Zyklus-Steuerung können bis zu neun Zyklen präzise durchgeführt werden, auch wenn die Prozessparameter oder die Wafer modifiziert werden. Diese Temperaturregelgenauigkeit macht SHS 2800E zur idealen Maschine für komplexe Prozessschritte wie Poly-Silizium-Gate-Aktivierung, Metallverbindungsbildung und SOI-Gerätebearbeitung. Die Maschine enthält auch eine kleine, bewegliche Plattform, so dass Wafer schnell und einfach auf das Substrat gelegt werden können. Darüber hinaus gibt es eine erweiterte Verdampfersteuerung, um mehrere Verdampfungen innerhalb der Vakuumkammer zu ermöglichen. Darüber hinaus ist eine Echtzeit-Diagnoseeinheit in das Gerät integriert, um eine detaillierte Rückmeldung der Prozessparameter, Temperatur, Gasdruck und Substrattemperatur zu liefern. MATTSON SHS 2800E ist kompakt und verfügt über eine integrierte Klimaanlage zur optimierten Kühlung der Kammer. Mit einer Gesamtprozessrate von bis zu 200 Wafern pro Stunde ist das Gerät unglaublich effizient und die ideale Wahl für die Halbleiterherstellung. Es kommt auch mit einem benutzerfreundlichen Steuerungstool, das einfach zu programmieren und zu verstehen ist, so dass es eine gute Wahl für Industrie- und Forschungslabors gleichermaßen ist. Zusammenfassend ist STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor eine der zuverlässigsten und effizientesten Maschinen auf dem Markt. Seine hochpräzise Temperaturregelung und Mehrzyklus-Programmierfunktionen machen es zu einer perfekten Wahl für jede Waferbearbeitungsanwendung.