Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594320 zu verkaufen

ID: 293594320
CVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Produktionsmaßstab-Reaktor, der eine hochkonsistente und wiederholbare Fertigungsumgebung zur Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien bietet. Seine Eigenschaften, einschließlich einer 200mm-Kammer mit einer Fünf-Wafer-Chargen-Ladefähigkeit, machen es zu einer attraktiven Wahl für die Halbleiter-Prozesssteuerung. Seine Konstruktion umfasst eine optische Fensteranordnung, die ein großes, flaches Quarzfenster beherbergt, das mit der 200mm-Kammer verbunden ist. Dieses Fenster ermöglicht eine bessere optische Analyse und bietet ein Mittel zur Inspektion von Prozessscheiben vor und nach der Verarbeitung. Darüber hinaus verfügt AMAT P-5000 über ein integriertes Temperaturregelmodul. Dieses Modul nutzt eine Kombination aus Tiegel, Filament und Wafertemperaturüberwachung sowie Präzisionsheizungssteuerung für Prozesskonsistenz. Mit dem Temperiermodul kann auch die Temperatur der Reaktorkammer gesteuert und gehalten werden. Der zu APPLIED MATERIALS P 5000 hinzugefügte Antriebsstrang ermöglicht eine präzise Steuerung vieler Prozessparameter wie Druck, Partikelgröße, Durchflussmenge und Mischung. Es kombiniert auch ein Widerstandsheizelement, um einen präzisen und wiederholbaren Wärmeeintrag in die Reaktorkammer sowie ein programmierbares Kraftwerk zur Erleichterung des Be- und Entladens von Wafern zu ermöglichen. P-5000 verwendet ein auf Helium basierendes Spülsystem, um eine saubere, schadstofffreie Umgebung in der Reaktorkammer zu erhalten. Das computergesteuerte Kreislaufsystem verhindert sowohl eine Wafer-Kontamination als auch die Bildung eines „Schattens“ auf der Waferoberfläche. Für zusätzliche Sauberkeit können AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 mit einem vorgeschalteten Regler und Wäschern vakuumbeladen werden. Der Positionierer von AMAT P5000 verwendet ein Bewegungsaufgabeprogramm und eine Bewegungsprozessoreinheit, um eine präzise und wiederholbare Positionierung der Wafer zu ermöglichen. Zur weiteren optischen Analyse arbeitet der Positionierer auch mit den Waferbeobachtungsanschlüssen der optischen Fensteranordnung zusammen. Angewandte Materialien P-5000 Reaktor ist ein äußerst vielseitiges System, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Prozessen in einer zuverlässigen, reproduzierbaren Umgebung durchzuführen. Seine wiederholbare Betrieb, zusammen mit seiner Umgebungssteuerung und Positionierer, machen es eine praktikable Option für lineare und nichtlineare Skalierung der Geräteherstellung auf der Halbleiterindustrie.
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