Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9396223 zu verkaufen

ID: 9396223
Weinlese: 1996
SACVD System 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor ist ein hochmoderner Reaktor, der für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterherstellung konzipiert ist. Es handelt sich um einen horizontalen thermischen Prozessreaktor, der große Diffusionsdotierungs-, Oxidations- und Glühprozesse ermöglicht. Der Reaktor verfügt über eine 40x40x60 Prozesszone mit einer ganzen Reihe von Gasverarbeitungsfähigkeiten. Dieser Reaktor wurde entwickelt, um niedrige Temperaturen, hohe Gleichmäßigkeit und niedrigen Gasverbrauch zu liefern. Der Reaktor hat einen umfassenden Durchsatz, der ihn für Massenproduktionsanwendungen gut geeignet macht. Es verfügt über eine breite Palette von Verarbeitungsparametern mit einem Prozesstemperaturbereich von 100 bis 1100 Grad Celsius. Dadurch wird sichergestellt, dass es in der Lage ist, eine Vielzahl komplexer Halbleitermaterialien zu handhaben. Das ADPC-System (Adaptive Dynamic Process Control) des Reaktors ermöglicht eine selbstoptimierende Betriebsart, die Gleichmäßigkeit und gleichbleibende Qualität über eine breite Palette von Rezepten und Prozessbedingungen liefern kann. Die Kammer des Reaktors ist hocheffizient ausgelegt und erfordert einen minimalen Gasverbrauch bei geringer Verschmutzung. Dies wird durch die Kombination einer „Box“ -Reaktorgeometrie mit einem kontinuierlichen Gasstrom im gesamten Verarbeitungsvolumen erreicht. Die Kammer weist außerdem eine patentierte Rückspülkonstruktion auf, die speziell die Ausgasung minimieren soll. AMAT P-5000 verfügt zudem über eine hohe Bauflexibilität, so dass es sowohl in Einzelkammer- als auch in Mehrkammerkonfigurationen eingesetzt werden kann. Dies ist durch die Flexibilität des modularen Aufbaus mit leicht austauschbaren Komponenten möglich. Darüber hinaus verfügt APPLIED MATERIALS P 5000 über ein anpassbares Gas Box Türdesign, das es ermöglicht, in verschiedene bestehende Installationen passen. Schließlich ist APPLIED MATERIALS P5000 Reaktor mit einem Industriestandard-Überwachungssystem konzipiert, mit dem Bediener die Prozessparameter überwachen und anpassen können, um eine optimale Leistung zu erhalten. Das eingebaute Regelsystem des Reaktors ermöglicht eine einfache automatisierte Abstimmung der Prozessbedingungen für verbesserte Erträge. Somit ist P-5000 Reaktor eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsprozessen.
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