Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed-S #9206613 zu verkaufen
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ID: 9206613
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
CVD-HDP System, 8"
Single chamber
Missing parts
2001 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Speed-S Reactor ist ein CVD-Werkzeug (Chemical Vapor Deposition), mit dem sehr dünne Materialschichten auf die Oberfläche eines Werkstücks aufgebracht werden. Dieses CVD-Werkzeug kann eine Vielzahl verschiedener Materialien wie Aluminium, Silizium, Germanium und andere Metalloide abscheiden, die dazu dienen, die Oberflächeneigenschaften des Substrats zu modifizieren und zu verbessern. Der Speed-S Reaktor bietet eine beispiellose Kontrolle über die Nanometer-Dicke und chemische Zusammensetzung der abgeschiedenen Schichten. Dieser Reaktor hält eine Ultrahochvakuumumgebung in der Reaktionskammer für eine hochwertigste Filmabscheidung aufrecht und sorgt dafür, dass das Verfahren mit minimalen Verunreinigungen arbeitet. Der Speed-S-Reaktor ist äußerst effizient und bietet eine gleichmäßige Filmverteilung über die gesamte Substratoberfläche, während Abscheidungsfehler beseitigt werden. Dies geschieht durch eine Kombination fortschrittlicher Technologien, wie seiner patentierten GasFlow-3-Ausrüstung, die den Fluss von Prozessgasen genau steuert, und dem Bürstenlift-System, das die Werkstückoberfläche während des gesamten Abscheidungsprozesses kontinuierlich reinigt. Der Speed-S-Reaktor ist auch in der Lage, durch sein Spin-on-Glass-Feature wiederholbare Schichten aus organischen Materialien, wie Polymere, bereitzustellen, wodurch maßgeschneiderte Folien leicht hergestellt werden können. Die brennbare Restgasmanagementmaschine (FRGMS) des Geräts sorgt für Sicherheit und Einhaltung staatlicher Vorschriften, während die „ActivePlay“ -Technologien des Reaktors eine Fernüberwachung und -steuerung des Speed-S-Reaktors von einem kontaktlosen, entfernten Ort aus ermöglichen. Der Speed-S Reactor ist in der Lage, über den gesamten Substratbereich zuverlässig wiederholbare, gleichmäßige und sehr dünne Filme mit gleichmäßiger Dicke zu produzieren, was verbesserte Oberflächeneigenschaften und verbesserte Korrosionsbeständigkeit ermöglicht. Der Abscheidungsprozess verwendet einen Hochtemperatur-Hochpräzisionsofen und kann Materialien in einer Vielzahl von Filmdicken abscheiden, von Tausenden von Angströmen bis zu Hunderten von Mikrometern. Der Speed-S Reactor ist für eine einfache Integration in bestehende Produktionslinien konzipiert und mit einer Vielzahl von automatisierten Prozessen kompatibel. Das Tool verfügt auch über einen 'SmartLink', der eine On-the-Fly-Prozessoptimierung ermöglicht und KI-gesteuerte Algorithmen verwendet, um die Prozessparameter in Echtzeit anzupassen. Damit ist der Speed-S Reactor ideal für Branchen wie Automobil, Luft- und Raumfahrt und Elektronik, in denen Präzision unerlässlich ist. Der Speed-S Reaktor bietet langfristige Zuverlässigkeit, kostengünstige Wartung und einfache Bedienung und ist damit die bevorzugte Wahl für Anwendungen wie dielektrische Filme, Atomschichtabscheidung und Photovoltaikschichten.
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