Gebraucht EBARA Frex 300S #9293812 zu verkaufen

EBARA Frex 300S
ID: 9293812
Wafergröße: 12"
CMP System, 12".
EBARA Frex 300S ist eine hochpräzise Multifunktionsmaschine, die gleichzeitig Schleifen, Läppen und Polieren auf Wafern durchführen kann. Die Geräte bieten eine vollautomatische Verarbeitung für 4 „bis 12“ Wafer. Sein einfaches und effizientes Einzelkarosseriedesign ermöglicht flexible Fertigungskonfigurationen und optimale Raumausnutzung. Die Plattform bietet eine schnelle, genaue und konsistente Lösung für die Bearbeitung von Wafern. EBARA FREX300S verfügt über ein Schleifsystem, das einen Hochleistungsspindelmotor verwendet, der mit einer Aluminiumoxid-Schleifscheibe ausgestattet ist und Präzision und Genauigkeit im Veredelungsprozess mit minimalen Mikrorissen oder Unterflächenschäden bietet. Der Schleifkopf kann oszillieren, so dass er über die Oberfläche des Wafers eine gleichmäßige Oberfläche bietet, und der Wafer wird durch ein Vakuumfutter festgehalten, um eine sichere Platzierung und Verarbeitung zu gewährleisten. Der Läppvorgang erfolgt durch einen hochpräzisen Seitenwickler-Nachlaufmechanismus und einen Schwimmkeil, der direkt auf die Werkstückhöhe eingestellt werden kann und eine präzise Positionierung ermöglicht, um eine hohe Genauigkeit beim Läppen zu erreichen. Zur homogenen und wiederholbaren Oberflächenveredelung wird eine gegenläufig rotierende Rundenplatte verwendet. F-REX300S ermöglicht die manuelle Bedienung des Polierprozesses durch präzise Poliermaschinen mit einstellbarer Geschwindigkeit und Druck, die eine hohe Effizienz und wiederholbare Ergebnisse ermöglichen. Die Poliermaschinen können weiter in verschiedene Richtungen konfiguriert werden, so dass sie ideal für spezifische Polieranwendungen sind. F REX 300 S bietet erweiterte Benutzerfunktionen, vollautomatische Spindel- und Vakuumsteuerung sowie integrierte hochpräzise Linearmotoren und hochpräzise Messsysteme, um Genauigkeit, Wiederholbarkeit und kurze Zykluszeiten zu gewährleisten. Es hat auch eine benutzerfreundliche Touch-Bedienfeld, mehrere Rezepteinheit sowie langfristige statistische Berichte. Insgesamt ist FREX-300 S eine effiziente, kostengünstige Schleif-, Läpp- und Poliermaschine, die hohe Präzision und konsistente Ergebnisse bietet und somit ideal für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsvorgängen geeignet ist.
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