Gebraucht DISCO DCS 141 #9312489 zu verkaufen

DISCO DCS 141
ID: 9312489
Wafer cleaning systems.
DISCO DCS 141 ist ein hocheffizienter und kostengünstiger Wafer- und Maskenwäscher für die Halbleiterherstellung. Es ist ein bandartiges Werkzeug mit innovativen Technologien, das eine automatisierte und präzise Reinigung von Wafern, Substraten und Fenstermasken ermöglicht. DISCO DCS141 ist mit einem fein gemusterten Förderband zur Diffusion von atmosphärischem Ozon ausgestattet und bietet konstante und zuverlässige Reinigungsleistung. Es wird durch einen DC-Servomotor und Riemenantrieb angetrieben, um eine präzise und genaue Verarbeitung zu gewährleisten. Zusätzlich fließt sein hydro-dynamisch Ozon für optimierte Reinigungskräfte und Abtragsraten. DCS 141 eignet sich hervorragend für die Großserienfertigung, da es bis zu 1.000 Wafer pro Stunde verarbeiten kann. Es eignet sich für den Einsatz im Nass- und Trockenwäscheprozess, um eine optimale Reinigung zu erreichen. Das Nasswaschverfahren basiert auf einem technologisch fortschrittlichen und hocheffizienten Spülmechanismus. Dazu gehört eine Duscheinheit, die Düsen aufweist, die zur Erzeugung eines gleichmäßigen und konstanten Wasserflusses über den Wafer ausgebildet sind. Das Trockenwaschverfahren verwendet ein atmosphärisches Ozon-Verfahren, das sich für hochsensible Prozesse oder solche mit kürzeren Zykluszeiten eignet. Neben dem Nass- und Trockenschrubben bietet DCS141 auch Ätz- und Vibrationsreinigungsmöglichkeiten. Es ist mit einem Hochleistungs-Pneumatikantrieb ausgestattet, der Schwingungsfrequenzen bis 55 Hz erreichen kann und unabhängig vom Oberflächentyp eine starke Aggressivität bietet. Darüber hinaus verfügt es über zwei getrennte Ätzkammern und zwei Ätzlösungen für unterschiedliche Anwendungen. Dies ermöglicht den gleichzeitigen Einsatz von zwei Arten von Ätztechniken, die eine hervorragende Reinigungsleistung bieten. DISCO DCS 141 ist auch mit einem erweiterten Softwarepaket ausgestattet, das eine benutzerfreundliche Touchscreen-Schnittstelle und ein Workflow-Management-System bietet. Es ist in der Lage, Fehler mit kritischen Prozessparametern zu erkennen, zu überwachen und zu berichten. Darüber hinaus ist es mit einem Parametereinstellungsmenü, integrierter Diagnose und einem Online-Support-System ausgestattet. DISCO DCS141 ist ein fortschrittlicher Wafer und Maskenwäscher und bietet High-End-Leistung, die zuverlässig, effizient und kostengünstig ist. Seine automatisierten Reinigungsfunktionen, die bis zu 1.000 Wafer pro Stunde verarbeiten können, machen es für die Großserienproduktion geeignet. Dank innovativer Technologien, einer benutzerfreundlichen Touchscreen-Oberfläche und einem fortschrittlichen Softwarepaket ist es in der Lage, eine hervorragende Reinigungsleistung mit minimalem Aufwand zu bieten.
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