Gebraucht CANON FPA 2000 i1 #293591390 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
FPA 2000 i1
ID: 293591390
Stepper.
CANON FPA 2000 i1 ist ein Wafer-Stepper, der eine präzise lithographische Bildgebung mit hohem Durchsatz und ausgezeichneter Genauigkeit ermöglicht. Es verfügt über zwei Laser, eine interfaced periodische Ausrichtung Ausrüstung, und fortschrittliche Beleuchter/Detektor-Technologie. Ein ausgeklügeltes Defocus Monitor System (DMS) sorgt zudem für stabile Expositionen. Das Gerät wird durch Dual-Source-optische Pickup-Kopf-Technologie mit einer fortschrittlichen Beleuchter-Detektor-Kombination versorgt, die eine hochauflösende Bildgebung ermöglicht. Das DMS hilft, eine gleichmäßige wiederholte Expositionsdosis und Musterplatzierung sowohl für einschichtige als auch mehrschichtige Resistexpositionen zu gewährleisten. Es liefert Echtzeit-Feedback an die Optikeinheit für Defokus- und Stufenverzerrungskorrektur. Volle 5-Achsen-Bewegung wird mit CANON hochpräzise Bewegungssteuermaschine beibehalten. CANON FPA2000-I1 bietet eine hochauflösende Abbildung von 20 Nanometern, die für viele aktuelle Mikrofabrikationsprozesse notwendig ist. Das Werkzeug ist mit zwei Lasern ausgelegt, die in Kombination verwendet werden, um die Belichtungsgenauigkeit zu maximieren. Es verfügt auch über ein ausgeklügeltes Defocus Monitor Asset (DMS), das sich an die aktuelle Anwendung anpassen kann, jedes Feld scannt und Abweichungen bei der Musterplatzierung durch Stufenaberration automatisch kompensiert. Das Modell verfügt über einen integrierten intelligenten Beleuchter, der die anspruchsvollsten Resistbelichtungsanforderungen mit zuverlässiger Wiederholbarkeit bewältigen kann. Zu den Funktionen dieser Software gehören Scanlinienoptimierung, Maskenoptimierung, Feldindizierung und Mustersegmentierung. FPA-2000I1 ist auch automatisiert, bietet einen umfassenden Satz von Betriebsmodi wie automatisierte Kalibrierung, Selbstdiagnose und Fehlerbehandlung, und On-Board Z Tiefenoptimierung für die Durchführung hochpräzise Fokussierung und Belichtungssteuerung Techniken. Insgesamt ist CANON FPA 2000 I 1 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der Präzisionslithographie-Bildgebung mit ausgezeichneter Genauigkeit und Zuverlässigkeit bieten kann. Mit zwei Lasern, einer interfaced periodischen Ausrichtausrüstung und einem ausgeklügelten DMS ist das System in der Lage, eine hochauflösende Abbildung von 20 nm und automatisierte, anpassbare Betriebsmodi anzubieten. Mit einem eingebauten Beleuchter und verschiedenen beeindruckenden Features ist dieses Gerät eine ideale Wahl, um Ihren Mikrofabrikationsprozess auf die nächste Stufe zu heben.
Es liegen noch keine Bewertungen vor