Gebraucht CANON FPA 2000 i1 #293606920 zu verkaufen

CANON FPA 2000 i1
Hersteller
CANON
Modell
FPA 2000 i1
ID: 293606920
Stepper.
CANON FPA 2000 i1 ist ein von CANON Inc. Es ist ein Hochleistungsstepper, der in Gießereien und Halbleiterfabriken für die Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. CANON FPA2000-I1 verfügt über eine großformatige (2.000 mm) Bühne und einen hochpräzisen Multiexposure-Mustermechanismus. Es ist mit zweiachsigen motorgetriebenen linearen Stufen ausgestattet, die einen großen Scanbereich von 5.000 mm auf jeder Achse bieten. Es kann einen 4-Zoll oder 5-Zoll-Wafer mit einem einzigen Durchgang freilegen. Darüber hinaus verfügt FPA-2000I1 über ein fortschrittliches Schrittsteuerungssystem, das es ermöglicht, mehrere Belichtungen präzise und genau zu positionieren, um komplexe Muster für 0,25 μ m Prozessknoten und darüber hinaus zu erstellen. FPA 2000 i1 ist in der Lage, trilineare synchrone Strukturierung bei hohen Durchsätzen von über 80 wph. Der Stepper ist mit mehreren Anzeigemodi ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglichen, schnell zwischen ihnen zu wechseln, so dass er ideal für technische Tests ist, um einen Prozess schnell auszuwerten oder die Auswirkungen einer bestimmten Belichtungstechnik zu testen. Darüber hinaus ist FPA-2000 I1 mit einem 4-Wege-Ein-/Ausgangssignalsystem ausgestattet, das es ermöglicht, an verschiedene externe Geräte und Controller angeschlossen zu werden. CANON FPA 2000 I 1 verfügt auch über hochauflösende, schnelle Musterung und Dosiskontrolle, so dass es eine optimale Musterleistung bei gleichzeitiger Minimierung der Musterverzerrung erreicht. Der Stepper verfügt über ein Farbmesssystem, das durch Vergleich des Musters mit einem Referenzbild eine genaue Farbdarstellung gewährleistet. Darüber hinaus ist FPA2000-I1 mit seinem modularen Aufbau auf Wartungsfreundlichkeit ausgelegt, was einen einfachen Austausch und eine Reparatur von Teilen ermöglicht. Insgesamt ist FPA-2000 I 1 ein leistungsstarker und zuverlässiger Wafer-Stepper, der Präzisionsmuster bei hohen Durchsätzen bietet. Seine Fähigkeit, mehrere Belichtungen genau zu positionieren und seine Fähigkeit, einfach mit externen Geräten und Controllern zu verbinden, macht es zu einer idealen Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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