Gebraucht CANON FPA 2000 i1 #9251787 zu verkaufen

CANON FPA 2000 i1
Hersteller
CANON
Modell
FPA 2000 i1
ID: 9251787
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1999
i-Line stepper, 6" 1999 vintage.
CANON FPA 2000 i1 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der speziell für Mikrofabrikationsanwendungen entwickelt wurde. Diese hochpräzise und präzise Maschine liefert beeindruckende Ergebnisse und ist damit die ideale Wahl für den anspruchsvollsten Produktionsprozess. CANON FPA2000-I1 bietet eine zuverlässige und wiederholbare Plattform zur Strukturierung dünner Filme mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von ± 1,5 Mikron. Es verwendet eine Wafer-Scan-Technik, wodurch es in der Lage ist, den Wafer entlang der x-Achse und y-Achse (in Y-Richtung) mit einer Auflösung von 4,7 Mikrometern durch hochauflösende Optik abzutasten. Es verwendet eine telezentrische Optik mit 4,7 Mikrometer Spotgröße, die eine hohe Präzision gewährleistet. Inzwischen verfügt dieses Gerät auch über programmierbare Belichtungszeit und mehrere Belichtungsoptionen, sodass Benutzer die Belichtung mit bestimmten Schichten des Wafers anpassen können. Das fortschrittliche FPA-2000I1 verfügt auch über obere und untere Sichtsysteme, die die Möglichkeit bieten, Muster mit mehr Genauigkeit und Wiederholbarkeit auszurichten. Darüber hinaus ermöglicht es Benutzern, Waferdicke und Overlay-Ausrichtung mit größerer Genauigkeit zu messen. Zusammen mit einer starren s/N-Steuerung ist dieser Stepper in der Lage, eine genaue Ausrichtung während des gesamten Prozesszyklus aufrechtzuerhalten. CANON FPA-2000 I 1 ist mit einem automatisierten Be- und Entladesystem, einem Bordcluster-Tool und integriertem Spin Coater-Entwickler ausgestattet. Dies erleichtert die Bedienung und eignet sich für ein breites Anwendungsspektrum. Trotz seiner fortschrittlichen Funktionen ist FPA 2000 I 1 im Gegensatz zu anderen fortschrittlichen Wafersteppern relativ einfach zu bedienen. CANON FPA 2000 I 1 eignet sich perfekt für Lithographieprozesse und bietet Anwendern die Möglichkeit, verschiedene Aufgaben präzise auszuführen. Von der Strukturierung nanoskaliger Strukturen bis zur Verpackung mikroelektronischer Geräte ermöglicht dieses integrierte Design den Anwendern, die fortschrittlichsten Prozesse mit Leichtigkeit abzuschließen. All diese Eigenschaften machen es zu einer idealen Wahl für Produktions- und Forschungsumgebungen. Es kann helfen, die Produktivität zu steigern und ermöglicht es Benutzern, jedes Mal beeindruckende Ergebnisse zu generieren.
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