Gebraucht CANON FPA 2000 i1 #9313277 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
FPA 2000 i1
ID: 9313277
Wafergröße: 6"
Wafer stepper, 6" No PCB.
CANON FPA 2000 i1 ist ein Wafer-Stepper, ein hochpräzises Instrument zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um einzelne und mehrere Wafer auszurichten und zu positionieren, um die Effizienz und Genauigkeit von Halbleiterbauelementproduktionsprozessen zu verbessern. CANON FPA2000-I1 ist mit einer hochempfindlichen und genauen XY-Scanstufe zur genauen Ausrichtung von Mustermerkmalen mit Wafermustern ausgestattet. Die Stufe wird von einem hochauflösenden Direktantriebsmotor angetrieben, der ein präzises und genaues Scannen während WAAM (Wafer Alignment and Masking) -Prozessen ermöglicht. Darüber hinaus ist das System mit einer Inspektionskameraeinheit ausgestattet, die mit proprietärer Software komplexe Wafer-Muster auf Fehler oder Variationen überprüft. Die Feldfläche von FPA-2000I1 reicht aus, um eine Vielzahl von Prozessoren auf einem einzelnen Wafer strukturieren zu können. Es verfügt über einen hochauflösenden Bildsensor und eine Echtzeit-Verarbeitungsmaschine, die eine einzelne Musterung mit extrem hoher Auflösung bietet. Darüber hinaus verfügt es über Halogen-Hochbeleuchtungslampe, die eine breite Palette von Wafersubstraten Größe und Formen unterstützt, die Produktionseffizienz zu verbessern. FPA 2000 ich 1 auch Eigenschaften ein Hochgeschwindigkeitsvektor Schrittalgorithmus, der Hochgeschwindigkeitssteindruckverfahrenaussetzung ermöglicht. Am Boden der XY-Stufe befindet sich ein langer Vakuumschlitz, der mit mehreren Saugnäpfen ausgestattet ist, die eine sichere und stetige Handhabung von Substraten während des gesamten Belichtungsprozesses ermöglichen. Dieses hochpräzise Werkzeug wird von CANON EDS-2 (Exposure Data Storage Asset) und CANON PST-3 (Process Sparing Tool) verwaltet und bietet eine genaue Wafer-Kantenerkennung, eine übermäßige Dämpfung der Waferbewegung und eine Fehlerinspektion auf Waferebene. CANON FPA 2000 I 1 verfügt auch über eine temperaturstabile Umgebung, um einen konsistenten Betrieb in verschiedenen Umgebungseinstellungen zu gewährleisten. Kurz gesagt, FPA-2000 I 1 ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der die Herstellung spezieller Halbleiterbauelemente und -schaltungen unterstützt. Es ist ein ideales Instrument für hohe Geschwindigkeit und genaue Wafer Ausrichtung und Verarbeitung. Es ist mit einer präzisen XY-Scanstufe und einem langen Vakuumsteckplatz ausgestattet und wird über CANON proprietäre Softwareprogramme verwaltet.
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