Gebraucht CANON FPA 5000 ES3 #9293798 zu verkaufen

CANON FPA 5000 ES3
Hersteller
CANON
Modell
FPA 5000 ES3
ID: 9293798
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
KrF Scanner, 8" No laser 2001 vintage.
CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepper ist ein hochpräzises Lithographiewerkzeug mit hohem Durchsatz, das von Halbleiterherstellern verwendet wird, um kleine und komplizierte Muster auf Wafern zu erstellen. Das Tool kombiniert fortschrittliche Wafer-Ausrichtungs- und Bildverarbeitungstechnologie, um eine präzise Musterfertigung mit schnellem Durchsatz zu gewährleisten. Die Ausrüstung nutzt die neueste Generation der Gaußschen Strahloptik, um feine und komplizierte Muster zu erzeugen. Merkmale wie Fine-Pitch-Auflösung und Multi-Zone-Fokus-Kontrolle sorgen dafür, dass die richtige Fokussierung im gesamten bildgebenden Feld der Maske erreicht werden kann. Das Werkzeug kann eine Vielzahl von Substraten handhaben und widersteht, wodurch der Benutzer mit mehr Vielseitigkeit und Flexibilität. Darüber hinaus ermöglichen seine proprietären Bildverarbeitungsalgorithmen und Beleuchtungstechniken es dem Benutzer, Muster mit weniger Verzerrung und größerer Kantendefinition zu erzeugen, was die Herstellungskosten senkt. Der modulare Aufbau von CANON FPA 5000ES3 trägt weiter zu seiner Flexibilität bei und erleichtert die Anpassung der Prozessparameter an spezifische Anwenderanforderungen. Dazu gehört die Möglichkeit, Beleuchtungsquellen, optische Bauelemente und Rückseitenbeschichtungen einzustellen. Darüber hinaus ermöglichen seine mehrstufigen Fähigkeiten die gleichzeitige Durchführung von Schritten wie Ätzen, Trocknen und Verbessern. Das Werkzeug verfügt auch über eine verbesserte thermische Steuerung. Das Gerät ist so konzipiert, dass Waferverzerrungen durch Temperaturschwankungen verhindert werden und die für die Bildgebung erforderliche optimale Temperatur beibehalten wird. Die Maschine ermöglicht es Benutzern auch, die Temperatur bis zu 0,2 ° C Schritten anzupassen, um die höchste Genauigkeit zu gewährleisten. In Bezug auf seine Softwarekomponenten bietet FPA-5000 ES3 eine umfassende Benutzeroberfläche für eine einfache Wafer-Prozessüberwachung und Datenanalyse. Darüber hinaus bietet es dem Anwender eine Vielzahl von Beschichtungspaketen zur Optimierung von Wafer-Bildgebungsprozessen. All-in-all, FPA 5000ES3 Wafer Stepper ist ein fortschrittliches, hocheffektives Lithographiewerkzeug zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über eine Vielzahl von benutzerfreundlichen Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, präzise Muster mit minimalen Verzerrungen zu erreichen. Das erweiterte thermische Steuerungstool und die umfassenden Softwarekomponenten bieten Anwendern und Herstellern eine zuverlässige und kostengünstige Möglichkeit, hochwertige Wafer herzustellen.
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