Gebraucht GCA DSW 8500 #293639852 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 293639852
i-Line stepper
Illumination uniformity: <= 2.5%
System resolution: 0.8 μm L/S
Depth of focus: <= 1.25 μm
Reduction: +/- 0.10 µm
Rotation: <= 0.05 µm
Telecentricity: +/- 0.25 ppm
Global registration: +/- 0.25 µm T.I.R
Local registration: +/- 0.15 µm T.I.R
Open frame: No repeaters
Orthogonality: +/- 1.0 ppm
Stage precision: +/- 0.10 µm
Wafer levelling repeatability: +/- 10 ppm
Reticle aligner accuracy: <= 0.1 µm
Aperture blade repeatability: +/- 0.25 mm
Aperture blade skew: +/- 0.25 mm
RMS Realiability: 30 Cycles
AWH Precision: +/- 3.0 mils
AWH Reliability: 50 wafers
Focus repeatability: <= 0.30 µm T.I.R
Reduction repeatability: <= 6.0 ppm T.I.R
Optic:
Lens specification: 1635-I Tropel
Focal length: 86
Resolution: 0.8 µm
Image field: 16 mm
Wavelength: 365 mm
E.P. Location: 439 mm
Reduction: 1:5
Depth of focus: n+/- 0.75 µ.
GCA-GCA DSW 8500 Wafer Stepper ist eine hochpräzise, bildgebende Ausrüstung, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein hochauflösendes, hochpräzises Gerät, das sowohl optische als auch röntgenbildgebende Funktionen kombiniert, um komplizierte Strukturen präzise abzubilden, auszurichten und zu mustern. GCA-DSW 8500 verfügt über große Scanflächen von bis zu 6 Zoll (152 mm) pro Wafer, mehrere vollautomatische Stufen für genaue und wiederholbare Bildgebung, hochgenaue Mess- und Ausrichtgeräte für die Mikroskala-Bildgebung und eine erweiterbare Architektur mit der Fähigkeit, zusätzliche Stufen und Optik hinzuzufügen. Das System ist benutzerfreundlich gestaltet und erfordert eine minimale Einrichtungszeit, mit einem voll ausgestatteten Bedienfeld mit einer interaktiven Grafik-Benutzeroberfläche (GUI) und einem umfassenden Satz von Tools. Das Gerät verfügt über eine Vakuumkammer, die eine saubere, staubfreie Umgebung bietet. Die Optikmaschine wird durch ein hochauflösendes Laserarray, eine Röntgenquelle und ein Langstreckenmikroskop angetrieben. Das Optik-Tool ist auch mit einem Bildprozessor und Bildverarbeitungssoftware ausgestattet, die Echtzeit-Datenanalyse und Kalibrierung Fähigkeiten bieten kann. GCA-GCA DSW 8500 wird mit einem schnellen Prozessor und einer 8-Zoll-Weitfeld-CCD-Bildaufnahmekamera betrieben. Gesteuert wird es mit der integrierten IMAP (Image Mounted Alignment Process) Software, die sowohl manuelle als auch automatisierte Musterung ermöglicht. GCA-DSW 8500 verfügt über eine Reihe von Funktionen, die darauf ausgelegt sind, die Genauigkeit zu gewährleisten und die Variabilität zu minimieren. Dazu gehören eine geräuscharme Umgebung, Bewegungssteuerungssysteme zur Verringerung von Vibrationen sowie integrierte Selbsttest- und Diagnosefunktionen, um eine maximale Anlagenleistung zu gewährleisten. Durch die Kombination der neuesten Bildgebungstechnologie mit fortschrittlichen Bewegungssteuerungssystemen ist GCA-GCA DSW 8500 in der Lage, hochauflösende Bildgebung mit Geschwindigkeiten von bis zu 3 Millimeter pro Sekunde mit enger Wiederholbarkeit bereitzustellen. Dieses Modell bietet eine zuverlässige, wiederholbare und hochpräzise Bildgebungsplattform, die es ideal für die Herstellung von hochpräzisen elektronischen Komponenten und Geräten macht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor