Gebraucht NIKON i11D #293627556 zu verkaufen

NIKON i11D
Hersteller
NIKON
Modell
i11D
ID: 293627556
Wafergröße: 8"
Stepper, 8" Resolution: 0.3 µm NA: 0.63.
NIKON i11D ist ein digitaler Chip-Stepper, der zur Verarbeitung der Halbleiter-Wafer-Fertigung mit höchster Genauigkeit, Präzision und Durchsatz entwickelt wurde. NIKON I 11 D verfügt über ein fortschrittliches Design, das die Leistung maximiert und gleichzeitig Wafer-Verzerrungen und Footprint minimiert. Seine digitale Maskenbildtechnik reproduziert komplexe, hochpräzise Formen und sorgt für überlegene Wafer-CD-Genauigkeit sowie präzise Fokussierung und Wiederholbarkeit. I11D Stepper ist mit einer leistungsstarken, ungeschützten Scanausrüstung mit großer Overlay-Bühne integriert und bietet für jeden Kunden ein breites Spektrum an auftragsspezifischen Konfigurationsmöglichkeiten. Dieses Single-Plate-System bietet dem Anwender eine hohe Integration mit motorisierten Bühnen, Innenaufzug, Zoomoptik, Flachbildschirm und einem intuitiven Touchscreen-Controller. Dieses Gerät ist kompatibel mit einer Reihe von Maskenmustern und Overlay-Stufen, einschließlich Reticles und High-Dispersion-Scanner für hochpräzise Messungen. I 11 D verfügt auch über fortschrittliche Sicherheitsfunktionen, um das Risiko einer Kontamination zu reduzieren, einschließlich eines zentralen Schild-Gas-Injektionsreglers zum Schutz der optischen Maschine vor Kontamination von außen, Echtzeit-Fehlerinspektionsfunktionen, gleichmäßiger Abdeckung und integrierter Umweltüberwachung. Der Wafer-Pflugmechanismus dichtet den Wafer wirksam gegen das darunter liegende Substrat ab, wodurch die Korrosionsgefahr verringert wird. Um einen hohen Durchsatz und einen hohen Prozessertrag zu gewährleisten, bietet NIKON i11D außerdem eine Reihe von Prozesssteuerungsfunktionen wie Dosisscannen, Lokalisierung in der Matrix, Stufe-zu-Stufe-Matching und Batch-zu-Batch-Matching. NIKON I 11 D wurde entwickelt, um die höchste Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Geschwindigkeit für die Herstellung von Halbleiterscheiben zu erreichen. Die patentierte NIKON-Architektur verbessert die optische Leistung, Genauigkeit und den Durchsatz und sorgt dafür, dass Waferdefekte bei hohen Geschwindigkeiten minimiert werden. In der Lage, Wafer so dünn wie 0,08 mm zu verarbeiten, kann der Stepper Wafer bis zu 150 mm Durchmesser mit minimaler Verzerrung handhaben. Für maximale Produktivität ist I11D mit fortschrittlichen Automatisierungs- und Fehlerwiederherstellungssystemen ausgestattet. Es bietet auch einen vernünftigen Trade-off zwischen Genauigkeit und Durchsatz und kann skaliert werden, um spezifische Kundenanforderungen zu erfüllen. Der einfach zu bedienende Touchscreen-Controller sorgt für einen reibungslosen Betrieb und eine nahtlose Kommunikation mit anderen Geräten. Durch die Bereitstellung einer genauen und zuverlässigen Wafer-Stepper-Lösung ist I 11 D die perfekte Wahl für Chip-Verarbeitungsanforderungen. Seine leistungsstarken Funktionen, gepaart mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen, helfen, optimale Wafer-Fertigungsergebnisse zu erzielen, was zu einer schnellen und effizienten Chargenproduktion führt.
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