Gebraucht NIKON NSR 1505 G6E #9195756 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G6E
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G6E
ID: 9195756
Steppers.
NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper ist eine fortschrittliche Lithographie-Ausrüstung mit branchenführenden Leistungsfähigkeiten und erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen. Das System bietet eine überlegene Lithographieerfahrung mit einer minimalen Linienbreite von 125 nm und einer ausgezeichneten Fokustiefe und ist auf die Anforderungen komplexer Substrate ausgelegt. Das Gerät wurde entwickelt, um mit einer breiten Palette von flexiblen Substraten zu arbeiten, einschließlich ultra-hohem Seitenverhältnis und großflächigen Substraten, um sicherzustellen, dass Partikel verschiedener Größen den Belichtungsprozess nicht stören. Die Maschine verfügt über zwei integrierte Feldlinsen zur Verbesserung von Bildverzerrung und Feldebenheit, was effektiv zu einer verbesserten Bildqualität und Auflösungspräzision führt. Das Tool bietet eine außergewöhnliche Overlay-Fähigkeit mit Hilfe eines fortschrittlichen Autofokus-Mechanismus, der auf hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt ist. Die fortschrittliche Musteranpassungstechnologie sorgt für genaue Datenerfassung und bietet Gleichmäßigkeit und Musterplatzierung Genauigkeit. Darüber hinaus verfügt das Asset über ein verbessertes Modell zur Positionierung von Rückwandplatten, das die Fehlausrichtung verringert und die Genauigkeit der Einrichtung des Substrathalters während der Exposition verbessert. Das Gerät ist mit einem intuitiven, benutzerfreundlichen automatisierten Job-Editor ausgestattet, der eine konsistente Benutzerleistung und Wiederholbarkeit gewährleistet. Darüber hinaus verfügt die Plattform über einen integrierten optischen HDX-Scanner, der eine genaue Retikelcharakterisierung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das System über eine erweiterte OPC-Fähigkeit, die eine überlegene Genauigkeit von Photomasken und Mustern ermöglicht. Das Gerät bietet einen verbesserten Durchsatz mit seiner fortschrittlichen Wafer-Handling-Technologie, die die Zykluszeit verkürzen soll. Der hohe Durchsatz der Maschine in Kombination mit den überlegenen Auflösungsfunktionen ermöglicht einen schnellen Durchsatz und eine hohe Durchsatzgleichmäßigkeit, wodurch überlegene Lithographieergebnisse gewährleistet werden. NIKON NSR-1505G6E ist auf hohe Zuverlässigkeit und Prozessstabilität ausgelegt. Die modulare und energieeffiziente Bauweise des Werkzeugs sorgt für einen extrem geringen Wartungsaufwand während des Betriebs. Darüber hinaus bietet das Asset einen umfassenden Satz von Datenerfassungsfunktionen, so dass es für eine breite Palette von Anwendungen geeignet ist. Die globale Unterstützung wird von NIKON bereitgestellt, so dass Anwender das Modell nahtlos in ihre Produktionsprozesse integrieren können.
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