Gebraucht NIKON NSR 1505 G6E #9206224 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G6E
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G6E
ID: 9206224
Wafergröße: 2"
Weinlese: 1989
Stepper, 2" 1989 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E ist ein hochpräziser Wafer Stepper, der auf zuverlässige Produktivität und leistungsstarke Ausrichtung für anspruchsvolle Lithographieanwendungen ausgelegt ist. Mit einer 6-Zoll-Wafer-Scan-Fähigkeit bietet NIKON NSR-1505G6E unübertroffene Genauigkeit und Durchsatz. Die innovative Doppelmacht-Hochspannungsverstärkerausrüstung des stepper arbeitet mit fortgeschrittenem Gunning Focussing System (GFS), um hervorragende Bildaufbereitungskonsistenz mit einer breiten Reihe von Speziallinsen zu erreichen. NSR 1505 G6E verfügt über eine integrierte synchrone Bildgebungseinheit zur genauen Ausrichtung von Merkmalen bis auf einen Sub-Mikron-Pegel. Diese Maschine kann alle notwendigen Parameter im Layout und im Gate-Muster exakt gleichzeitig scannen und abbilden, ohne dass eine zusätzliche Linse erforderlich ist. Dies erhöht die Effizienz und Genauigkeit des Prozesses erheblich und vereinfacht den gesamten Konstruktionsprozess. Der Stepper basiert auf einem patentierten CNA Drive Tool zur schnellen und genauen Ausrichtung über den gesamten Wafer. Das Asset ist benutzerfreundlich gestaltet und ermöglicht eine verbesserte Prozessüberwachung. NSR-1505G6E bietet auch eine verbesserte Flexibilität mit der Verfügbarkeit einer breiten Palette von Optionen für die Prozessanpassung, wie Dunkelfeldmesstechnik, In-situ-Linsenbeschichtung und eine Online-Korrekturfunktion. Auch NIKON NSR 1505 G6E bietet mit seiner fortschrittlichen Clean Scan-Funktion eine verbesserte Leistung. Dieses Modell soll die Exposition des Wafers gegenüber Lichtverschmutzung reduzieren, da es den Wafer zu unterschiedlichen Zeiten abtastet und alle Schurkenstaubpartikel herausfiltert, die während des Abtastvorgangs mit dem Wafer in Berührung kommen können. Dadurch wird die Gefahr von Defekten durch Staubpartikel, die während des Ausrichtvorgangs auf den Wafer gelangen, deutlich reduziert. NIKON NSR-1505G6E bietet auch einen fortschrittlichen Qualitätsmonitor, der detaillierte Prozessverläufe aufzeichnet. Dies bietet Benutzern die Möglichkeit, detaillierte Qualitätsleistungsinformationen über mehrere Laufwerke hinweg zu überwachen. Dies ist zusätzlich zu der Stempel-zu-Stempel-Optimierung, die verwendet werden kann, um die Leistung und Genauigkeit des Lithographie-Prozesses über eine Reihe von Wafern zu verbessern. NSR 1505 G6E ist ein fortschrittlicher und hocheffizienter Wafer Stepper, der für hohe Präzision und Durchsatz für anspruchsvolle Lithographieanwendungen entwickelt wurde. Dank seiner vielfältigen Funktionen und Optionen eignet es sich hervorragend für anspruchsvolle Prozesse, während die leistungsstarken Ausrichtungsmöglichkeiten und die synchrone bildgebende Ausrüstung es zu einer zuverlässigen und genauen Wahl für jede Anwendung machen.
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