Gebraucht NIKON NSR 1505 G6E #9207086 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G6E
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G6E
ID: 9207086
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1988
Steppers, 4" 1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper ist ein hochentwickelter Stepper für die Halbleiterlithographie. Diese Ausrüstung ist für 200mm-Wafer ausgelegt und enthält die einzigartige beugungsbegrenzte Optik und die patentierte Immersion-Technologie. Die Optik verfügt über Multi-Beam-Scanning-Technologie, was bedeutet, dass mehrere Laserstrahlen gleichzeitig verwendet werden, um eine überlegene Bildauflösung und -genauigkeit zu erreichen. Immersionstechnologie verwendet flüssiges Immersionsmedium zwischen der Linse und dem Wafer, um die Genauigkeit zu erhöhen und optische Aberrationen zu reduzieren. Dieser Stepper verfügt auch über einen Dual-Beam-Maske-Aligner, der zwei Strahlen kombiniert, um Masken auf dem Wafer genau zu belichten, und liefert erstklassige Platzierungsgenauigkeit und Dosisgleichmäßigkeit. Das fortschrittliche Bühnendesign von NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper ermöglicht den Einsatz größerer Substratgrößen mit überlegener Genauigkeit. Seine große, fortschrittliche Wafer-Bühne bietet einen XY-Arbeitsbereich von 600 x 600mm und eine glatte, kontrollierte Bewegung für optimale Stabilität und Genauigkeit. Es hat auch eine große Arbeitsumschlag mit einem Hochleistungs-Wafer-Schutz-Gerät, verhindert unerwünschte Fälle von Maske oder Wafer Bruch durch unangemessene Handhabung. NSR 1505 G6E Wafer Stepper verfügt über leistungsstarke Wafer-Scan-Funktionen, die Durchsatzgeschwindigkeiten von bis zu 1200 Wafern/Stunde erreichen. Es kann sich auch um mehrere Operationen in einem Zyklus kümmern, wie das Schreiben von Belichtungsdaten während der Freilegung der Wafermaske. Dieses System beinhaltet auch eine Qualitätskontrolleinheit, die die Ausrichtung und Registrierung des Wafers überwacht und Belichtungsstellen von Wafer zu Wafer während automatisierter Produktionsläufe automatisch verwaltet. In Bezug auf Sicherheitsmerkmale ist NSR-1505G6E Wafer Stepper mit einem Sicherheitsverschluss ausgestattet, um den Stepper vor Beschädigungen bei anormalem Betrieb zu schützen. Es verfügt auch über menschliche Schnittstelle Leistungsschalter, die Leistung im Falle einer elektrischen Überlastung reduziert. Ergänzt wird dies durch eine automatisierte Schutzmaschine, die die optische Ausrüstung vor der Gefahr einer zu hohen Strahlenbelastung schützt. Insgesamt ist NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper ein zuverlässiges, hochleistungsfähiges lithografisches Werkzeug, das eine Reihe fortschrittlicher Funktionen und Sicherheitsschutzmaßnahmen umfasst und somit eine ideale Wahl für die Halbleiterverarbeitung darstellt.
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