Gebraucht NIKON NSR 1505 G6E #9227620 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G6E ist eine kritische Dimensions- (CD) und Overlay-Messtechnik für Halbleiterbauelemente, die hochgenaue Ergebnisse für Ein- und Mehrmuster-Wafer-Stepper-Operationen liefert. Es ist in der Lage, mit einer Vielzahl von bildgebenden Substraten zu arbeiten, einschließlich Quarz, Quarzglas, CaF2 und andere, und ist für den Einsatz in verschiedenen Back- und Front-End-Gerätekonstruktionen in der Mikroelektronik konzipiert. NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper ist mit einem 5KW Kohlendioxid (CO2) Laser und einer integrierten vertikalen Abtastachse ausgestattet. Es ist in der Lage, Auflösungen von bis zu 0,2 µm zu produzieren, und bietet Schrittbetriebsgeschwindigkeiten von bis zu 24-150mm/s. Zu den primären Schrittoperationsparametern gehören Fokusversatz, Phasenverschiebung, Scan-Wiederholung, Scan-Größe und Scan-Richtung. NSR 1505 G6E verfügt über ein Multidetektor-Optimierungs- und Konfigurationssystem mit einer Reihe von spezialisierten Detektoren und Optik, mit verschiedenen Werkzeugen und Bildverarbeitungssystemen. Sein Brennpunktmonitor kann die Änderungen in der Fokusposition für jede Belichtung erkennen, so dass das Gerät eine hohe Genauigkeit und Präzision erreicht. Darüber hinaus ist es mit einer Reihe von Software- und Hardwareverbesserungen ausgestattet, wie zum Beispiel seine Anti-Struktur-Verzerrungs- und Fokuskontrollfunktionen. NSR-1505G6E verwendet eine Reihe von bildgebenden Modi, wie Top-Down (L&L), De-Fringe, Multi-Shot und Nähen, um optimale bildgebende Ergebnisse für verschiedene Anwendungen zu erzielen. Es ist in der Lage, bis zu 12 Blöcke gleichzeitig zu verarbeiten, und ist in der Lage, mehrere Muster in einem einzigen Wafer in einer einzigen Belichtung zu belichten. Darüber hinaus ist es mit einem integrierten Wafer-Handling-System und automatisierten Be- und Entladefunktionen ausgestattet, um schnellere Bearbeitungszyklen zu ermöglichen. NIKON NSR 1505 G6E eignet sich für Anwendungen in der Substratflächenprüfung, CD-Messung, Resistprofilüberwachung, Bildverbesserung und Einfädelung. Es ist Teil der Produktlinie von Wafer Stepper Systemen und arbeitet mit dem NSR-1505 Mustergenerator für elektrische Wafer Level Compliance Tests. Unterstützt wird es durch ein umfassendes Support- und Servicenetzwerk von NIKON, das seinen Kunden ein zuverlässiges System bietet, das höchsten Ansprüchen an Genauigkeit und Leistung genügt.