Gebraucht NIKON NSR 1505 G6E #9233490 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G6E ist eine Hochleistungs-Wafer-Stepper-Ausrüstung, die für die Halbleiter-Massenproduktion verwendet wird. Es ist in der Lage, Wafer mit einer Größe von bis zu 8 Zoll mit einem 4X-Reduktionsverhältnis bei einer maximalen Bildfeldgröße von 532mm x 603mm abzubilden. Dieser Stepper ist mit einer tiefen UV-Quecksilberlampe ausgestattet, die eine gleichmäßige Beleuchtung auf Waferoberflächen mit einem HeNe-Laser-basierten Ausrichtsystem ermöglicht. Es verfügt auch über eine erweiterte optische Einheit mit 0,5 μ m oder 0,25 μ m Auflösung. Die Maschine verfügt außerdem über ein ElectroStatic Chuck (ESC) zum sicheren Klemmen der Wafer während des Bildgebungsprozesses und eine Step and Scan Longer Exposure (SSLE) -Funktion, die eine gleichmäßige Lichtbelichtung über die gesamte Oberfläche des Wafers ermöglicht. Die NIKON NSR-1505G6E ist zudem äußerst effizient und produktiv für die Abbildung einer großen Anzahl von Wafern konzipiert. Das Werkzeug verfügt über eine automatisierte Wafer-Handhabung, die einen Waferträger, Roboterarm und Förderband verwendet, um Wafer schnell zwischen der Messstation, der Be-/Entladestation und der Abbildungsstation zu bewegen. Darüber hinaus enthält der Stepper auch ein Rezept-Management-Modell, mit dem Benutzer Prozesseinstellungen für jeden einzelnen Wafer schnell anpassen können, um sicherzustellen, dass die besten Ergebnisse für jeden bildgebenden Prozess erzielt werden. Das Gerät verfügt zudem über eine integrierte automatische Kalibrierfunktion, die eine hochgenaue Bildgebung bei minimaler Rüstzeit ermöglicht. NSR 1505 G6E wurde speziell entwickelt, um die hohen Anforderungen an Halbleiterherstellungsprozesse wie Lithographie zu erfüllen. Es ist auch sehr zuverlässig, mit einer mittleren Zeit zwischen Ausfällen (MTBF) Rating von über 500.000 Stunden. NSR-1505G6E entspricht den Standards von SEMI E-53 und GEM (global equipment monitoring), was bedeutet, dass alle erforderlichen Daten mit minimalem Aufwand vom System aus leicht zugänglich sind. Schließlich entspricht diese Schritteinheit auch den EU-RoHS-Vorschriften, was bedeutet, dass sie zertifiziert ist, minimale Auswirkungen auf die Umwelt zu haben.