Gebraucht NIKON NSR 1505 G6E #9245623 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G6E ist ein hochmoderner Wafer-Stepper zur präzisen Verarbeitung von Substraten in Halbleiter- und verwandten Industrien. Die fortschrittliche Technologie des Geräts ermöglicht hohen Durchsatz und Einheitlichkeit, die durch seinen starren Arbeitsbereich auf der NIKON Heavy Nano Control II-Plattform des NSR erreicht wird. Substrate werden mit ultrahoher Auflösung und fehlerfreier Reproduzierbarkeit durch das hochpräzise 6-Achsen-Bewegungssteuerungssystem und die hochpräzise Direktantriebsmotoreinheit der Maschine belichtet. Die hochauflösende, hochgenaue und hochdynamische Positioniermaschine der Maschine ermöglicht die Verarbeitung von Substraten bis zu 5nm. Das Werkzeug verfügt über eine thermisch stabile Bühnenkonstruktion mit Temperaturkompensation von 0-60 ° C für seine 3-Achsen, optimiert für ultrahochpräzise Musteraufgaben. Der integrierte vertikale/laterale Positionierer ermöglicht auch eine präzise Belichtung von gestaffelten Polygonwinkeln und x-y-Modulation, wodurch eine höhere Genauigkeit und überlegene Wiederholbarkeit von überlappenden Mustern gewährleistet ist. Darüber hinaus verfügt NIKON NSR-1505G6E mit seinen Autofeldausrichtungs- und Sprungkorrekturschleifen über eine branchenführende Ausrichtungsgenauigkeit, die eine präzise Registrierung und Beseitigung von Verzerrungsfehlern ermöglicht. Die fortschrittliche Ausrichtungsgenauigkeit der Maschine hilft auch, die Fehlererkennung und Partikelerkennung zu steigern. NSR 1505 G6E umfasst eine breite Palette von Prozessfunktionen, einschließlich fortgeschrittener Träger- und Bühnenausrichtungsfunktionen, präziser und wiederholbarer Musterung variabler Formen, Lichtfackeln und Verdunkelungsfunktionen sowie Spiegel- und Array-Funktionen. Weitere Funktionen sind vollautomatische Konnektivität und Betrieb, Umweltkontrolle wie Staub und ESD-Schutz und eine eingebaute Reinigungsanlage. NSR-1505G6E Wafer Stepper ist ein vielseitiges und hochflexibles Modell mit überlegener Leistung und Präzision. Mit seiner hohen Genauigkeit und zuverlässigen Verarbeitungsfähigkeit ist es ein wesentliches Werkzeug für Hersteller jeder Größe und bietet einen hohen Durchsatz und eine qualitativ hochwertige Produktion.