Gebraucht NIKON NSR 1505 G6E #9276476 zu verkaufen
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ID: 9276476
Wafergröße: 6"
Stepper, 6"
Lens resolution: 0.70 µm
Lens distortion: ±100 nm
Magnification error included
Open flame:
Maximum exposure area: Square 15 mm
Vertical x horizontal: 17.5 mm x 12.5 mm
Focus check: ≤ ±0.3 µm
Lamp power: 500 mW/cm²
Lamp uniformity: 3.0%
Dose controll accuracy: ±1.0%
Integrated exposure stability
Reticle blind: 0.4- 0.8 mm
Reticle rotation accuracy: 0.03 µm
Target value repeatability: 0.02 µm
LSA Telecen: ≤ ±0.5 µm
LSA Repeatability: ≤ 0.2 µm
Overlay: ≤ ±0.15 µm
Stepping accuracy: 3σ ≤ 90 nm
Wafer stage flatness: 3.0 µm / 150 mm
Chip leveling: ≤ 0.4 µm (10 mm)
Wafer transfer:
Failure / (4) Lots wafer
Prealignment2
Repeatability: 3σ 15 µm
Wafer: Flat type
Reticle size, 5"
Wafer loader
(2) Cassette tables
Ceramic arm
Reticle loader:
PPD
Reticle, 5"
Automatic Reticle Loader (ARL)
Wafer stage
Leveling stage: X, Y, Z, T
Chip leveling
Wafer holder: Ring type, 6"
Illumination:
Lens type: 0.54
Maximum expose area: 15 mm square to 12.5(H) mm x 17.5(V) mm
Reduction ratio: 5x
Lamp power supply unit
Alignment
Laser power supply: WGA and LSA
Alignment method: WGA and LSA
Systems:
MCS2
Floppy drive for storage
Environment chamber.
NIKON NSR 1505 G6E ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Dieser Stepper bietet hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit sowie hervorragende Bildqualität für Lithographie- und Ätzprozesse. NIKON NSR-1505G6E nutzt eine fortschrittliche Kombination aus Optik und Elektronik, um überlegene Präzision und Bildqualität zu gewährleisten. Seine optische Ausrüstung umfasst eine hohe numerische Apertur (NA) -Linse, die eine höhere Bildauflösung ermöglicht. Der Stepper verfügt auch über ein ausgeklügeltes Bildverarbeitungssystem und einen großen Bewegungsbereich, so dass er seine Position leicht an Bildmuster auf Wafern oder Substraten ausrichten und anpassen kann. NSR 1505 G6E ist in der Lage, Bilder mit einer Auflösung von 0,25 μ m zu erzeugen, was viel höher ist als die Auflösung vieler anderer Wafer-Stepper. Es kann auch mehrere Muster auf dem Wafer auf einmal genau belichten und eine zuverlässige Musterreproduzierbarkeit erreichen, indem es präzise Positions- und Belichtungseinstellungen ermöglicht. Mit einer Hochgeschwindigkeits-Scanzeit von 2,1 Sekunden hilft dieser Stepper, den Energieverbrauch zu reduzieren und den Bedarf an menschlichen Eingriffen zu minimieren. NSR-1505G6E ist äußerst zuverlässig und extrem einfach zu bedienen. Es ist mit einer ausgeklügelten Steuerungssoftware gebaut, die es Anwendern ermöglicht, die Bedienung des Steppers einfach zu überwachen und anzupassen. Diese Software ermöglicht auch Echtzeit-Anpassungen von Geschwindigkeit und Belichtung, was hilft, Kosten und Verschwendung durch Optimierung der Belichtungszeit zu reduzieren. Schließlich ist NIKON NSR 1505 G6E sehr anpassbar, so dass Benutzer das Gerät für bestimmte Anwendungen konfigurieren können. Der Stepper ist entweder in einer Ein- oder Zweitaschenkonfiguration verfügbar, und mehrere Hardwaremodule können hinzugefügt werden, um mehr Flexibilität und Kontrolle zu ermöglichen. Der Stepper ist in der Lage, mehrere Eingabeformate zu verwenden und kann sowohl an manuelle als auch an automatisierte Systeme angeschlossen werden. Insgesamt ist NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper eine ausgezeichnete Wahl für Lithographie- und Ätzprozesse. Es bietet genaue, hochauflösende Bildgebung, zuverlässige Wiederholbarkeit und ausgezeichnete Benutzerfreundlichkeit. Mit einer fortschrittlichen optischen Maschine, einem ausgeklügelten Bildverarbeitungstool und einer anpassbaren Konfiguration kann NSR 1505 G6E helfen, die Effizienz zu steigern und die Betriebskosten zu senken.
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