Gebraucht KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #129994 zu verkaufen

ID: 129994
Wafergröße: 2-4"
Wafer inspection system, 2"-4".
KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN ist eine automatisierte hochauflösende Inspektions- und Messtechnik, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es wird verwendet, um ausgefallene oder nicht funktionelle Siliziumscheiben und Photomasken zu testen und zu untersuchen. Das System ist in der Lage, die elektrischen Eigenschaften und die Topographie der Vorder- und Rückseite des Wafers zu messen. Das Gerät ist auch in der Lage, Fehler genau zu erkennen und zu isolieren, sei es aufgrund einer Mikrobelastung, Verschmutzung oder eines physikalischen Defekts. KLA 4000 SURFSCAN verwendet eine proprietäre Pulsblinklichtquelle, um die Siliziumoberfläche schnell abzutasten und Defekte zu erkennen. Die Lichtquelle erzeugt einen wiederholbaren Lichtblitz, der genau auf das beobachtete Material zugeschnitten werden kann. Die Maschine verwendet einen Abgriffsausrichtungssensor, mit dem die genaue Ausrichtung von Wafer und Maske bestimmt werden kann. Dies ist ein wichtiges Merkmal für messtechnische Anwendungen, bei denen Geschwindigkeit und Genauigkeit oberste Priorität haben. TENCOR 4000 SURFSCAN verfügt auch über ein hochauflösendes Mikroskopwerkzeug, das das Probenmaterial bis zu 2000x vergrößern kann. Das Mikroskop-Asset ist mit einer Digitalkamera und Bildverarbeitungssoftware ausgestattet, die Defekte erkennen kann, die so klein wie 6 Mikrometer breit sind. Sie ist in der Lage, in weniger als einer Sekunde Untersuchungsergebnisse zu erzielen. 4000 SURFSCAN ist mit einem CCD-Bildverarbeitungsmodul ausgestattet, das Bilder von Defekten genau erfassen und mit Röntgensoftware analysieren kann. Diese Funktion ermöglicht eine schnelle und genaue Beurteilung des fraglichen Fehlers und kann verwendet werden, um dem Fertigungsingenieur schnell Feedback zu geben. KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN wird auch mit einem Inline-Wafer-Defroster geliefert, der jede Verunreinigung beseitigen kann, die durch die Ablagerungsprozesse verursacht wurde. Das Modell verfügt zudem über einen „augensicheren“ Laser, mit dem das Gerät präzise und schnell über die Waferoberfläche scannen und Rückstände, Kontaminationen oder Fehler erkennen kann. KLA 4000 SURFSCAN kann in einer Vielzahl von Produktionsprozessen eingesetzt werden und das System kann einfach vom automatischen zum manuellen Betrieb eingestellt werden. TENCOR 4000 SURFSCAN ist eine leistungsfähige und zuverlässige Technologie, die die Qualität der Halbleiterproduktion sicherstellt und entscheidend dafür ist, dass die Branche reibungslos und effizient läuft.
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