Gebraucht KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #3787 zu verkaufen

KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN
ID: 3787
Unpatterned wafer surface inspection tool Parts system.
KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für die Produktion von hochvolumigen Halbleitern entwickelt wurde. Dieses System bietet die neueste Technologie zur strukturierten und Bump-Metrologie-Charakterisierung. Es wird zur Fehlerinspektion, zur Messung kritischer Abmessungen (CD) und zur Überlagerung verwendet, um sicherzustellen, dass Wafer den Produktionsanforderungen entsprechen. Das Gerät verfügt über eine hochpräzise Stufe und erweiterte Optik. Es arbeitet in einer Vakuumumgebung und kann von Gerätestufen bis zu großen Testchips messen. Die Maschine umfasst auch eine Hochgeschwindigkeitsstufe, die den Scanbereich auf 45x schneller als Standardwerkzeuge erweitert. Das vierachsige Scannen bietet Anwenderflexibilität in einer einzigen Einrichtung. Das Werkzeug ist mit mehreren Funktionen ausgestattet, die die Waferinspektion schneller und genauer machen. Seine eingebettete Architektur beschleunigt die Mehrfachscans, die für eine vollständige Messtechnik benötigt werden. Es verfügt auch über integrierte Datenanalysen zur beschleunigten Charakterisierung von Waferdefekten. Darüber hinaus bietet es bei Bedarf Hardware-Upgrades vor Ort. KLA 4000 SURFSCAN verfügt über eine intuitive, grafische Benutzeroberfläche zur Vereinfachung der Benutzerinteraktion mit dem Asset. Erweiterte Mustererkennung, Echtzeit-Analysen und eine Reihe von Reporting-Tools ermöglichen es Benutzern, Inspektionsberichte mit Leichtigkeit zu erstellen. Das Modell verfügt auch über eine Reihe von automatischen Modi, die den Durchsatz erhöhen und gleichzeitig die Gesamtbetriebskosten reduzieren. Es ist in der Lage, kleine Merkmale und komplexe Geometrien mit wiederholbarer Genauigkeit zu messen. Darüber hinaus ermöglichen seine niedrig schädigenden Lichtquellen Wafermessungen, ohne die Geräteleistung zu beeinträchtigen. Die Ausrüstung bietet erweiterte messtechnische Fähigkeiten. Es kann eine Reihe von Merkmalen und Strukturen messen, einschließlich Nanostrukturen, kritische Dimensionen, Überlagerung Ausrichtung, Linienbreiten und Formen. Das System verwendet mehrere Sondentechnologien, um hochauflösende Bilder zu erfassen und eine umfassende Analyse durchzuführen. TENCOR 4000 SURFSCAN bietet flexible, leistungsstarke Tests und Messtechnik für den Herstellungsprozess. Seine breite Palette an Messfähigkeiten und hohe Präzision macht es zu einer idealen Lösung für die Inspektion und Charakterisierung von Wafern mit hohem Volumen.
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