Gebraucht KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9160808 zu verkaufen

KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN
ID: 9160808
Unpatterned wafer inspection system.
KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die zur Inspektion von Halbleiterscheiben auf physikalische Defekte, elektrische Shorts und Parameterkonformität entwickelt wurde, um Herstellkosten zu reduzieren und die Produktqualität zu verbessern. Es verwendet mehrere Technologien, einschließlich Laserscanning, optische Streuung, magnetooptische Profilometrie, Streuung und 2D-Bildsensor-Messtechnik. Das System integriert verschiedene Automatisierungstechniken wie Bildverarbeitung, Robotik und Prozesssteuerung, um die elektrischen Eigenschaften der Schichten, Linienbreiten, Dicken und andere Merkmale eines Wafers genau und effizient zu messen. Die integrierte Einheit umfasst auch Hochgeschwindigkeits-Scanning, erweiterte Software-Steuerung sowie Geräte-Test- und Inspektionsfunktionen. Die Maschine Surfscan 4000 enthält mehrere Hardwarekomponenten, darunter eine automatisierte Prüfstation, mit der Wafer schnell und präzise getestet werden können. Das Tool umfasst auch mehrere Datenerfassungsinstrumente wie Scanning Laser Interferometer (Ε), Electrical Test Fixture (ETF), spezialisierte Kameras und einen Analyseprozessor zur Analyse der gesammelten Daten. Das Asset umfasst auch Prozesssteuerungssoftware, um eine genaue Replikation von Testverfahren sowie Softwarefunktionen zur Fehlererkennung zu ermöglichen. Das optische Modell des Surfscan 4000 umfasst auch mehrere Komponenten, wie eine Reflection Contour Illumination Equipment (RCIS), die ein gleichmäßiges und einstellbares Beleuchtungsfeld entlang der Oberfläche des Wafers bietet. Auf diese Weise kann das System Oberflächenprofil, Linienbreiten, Winkelmessungen, CD-Ungleichmäßigkeit und andere Merkmale genau messen. Das Gerät ist für jede Art von Wafer, von Silizium, Galliumarsenid und anderen Materialien, ausgelegt. Der Surfscan 4000 ist in der Lage, komplexe Waferstrukturen einschließlich 3D-Strukturen zu messen und auszuwerten und eignet sich für eine kostengünstige Waferinspektion. Die Maschine kann auch sowohl für die Einzelwafer- als auch für die Chargenverarbeitung konfiguriert werden. Es kann zur Inspektion in hochvolumigen Fertigungslinien verwendet werden und ist in der Lage, hochleistungsfähige, hochpräzise Ergebnisse zu liefern, die in der Qualitätskontrolle oder für Forschung und Entwicklung verwendet werden können. Insgesamt ist KLA 4000 SURFSCAN ein fortschrittliches, automatisiertes Wafertest- und Metrologiewerkzeug, das die Herstellungskosten senkt und die Produktqualität verbessert. Es ist in der Lage, schnelle, genaue und wiederholbare Messungen von elektrischen Eigenschaften, Linienbreiten, Dicken und anderen Funktionen durchzuführen, um sicherzustellen, dass die Komponenten des Wafers den Industrie- und Kundenanforderungen entsprechen.
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