Gebraucht KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9205755 zu verkaufen

KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN
ID: 9205755
Wafergröße: 6"
Unpatterned wafer inspection system, 6".
KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für präzise topographische Messungen von Wafern in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das SURFSCAN-System nutzt spindelmotorisch angetriebene Stufen, um den Wafer perfekt auszurichten und zu bewegen, während hochentwickelte Metrologie-Algorithmen verwendet werden, um die Topographie und Form des Wafers genau zu messen. Die fortschrittliche Optikeinheit von SURFSCAN umfasst ein beleuchtetes invertiertes Mikroskop, 4 digitale Signalprozessoren, eine LED-Beleuchtung, die es dem Mikroskop ermöglicht, die Oberflächenfehler genau zu erkennen und zu messen. Um die Genauigkeit und Konsistenz der Messungen zu gewährleisten, wird eine Edelstahl-Referenzkugel verwendet. Der SURFSCAN verfügt über eine fortschrittliche, Hochgeschwindigkeits-CCD-Kamera sowie einen Strobobeleuchter zur Erfassung detaillierter Bilder der Waferoberfläche während des Messvorgangs. Es hat eine variable Abtastrate, die auf die Größe des Wafers und die spezifischen Anforderungen der Anwendung zugeschnitten werden kann. Wafer-topographische Daten werden im Speicher gespeichert und können gesendet oder mit anderen Geräten geteilt werden. Die messtechnischen Algorithmen des SURFSCAN ermöglichen eine umfassende Oberflächenanalyse in einem Bruchteil der Zeit, die typischerweise für manuelle Messungen benötigt wird. Die Maschine kann detaillierte Analyse von Standardparametern wie Wurzelmittelquadrat (RMS) Rauheit, Spitze-zu-Tal-Rauheit und Linienbreiten zur Verfügung stellen. Der SURFSCAN ist einfach zu bedienen und zu pflegen. Es verfügt über erweiterte Benutzeroberflächenfunktionen, die eine einfache Navigation und Kontrolle aller Parameter von der Scangeschwindigkeit bis zum Messmodus ermöglichen. Der vollautomatisierte Betrieb erfordert einen minimalen Eingriff des Bedieners, und automatisierte Kalibrierungsverfahren werden verwendet, um das Werkzeug schnell für präzise, wiederholbare Ergebnisse zu kalibrieren. KLA 4000 SURFSCAN ist eine hochpräzise und fortschrittliche Komponente für Wafertests und Messtechnik. Das fortschrittliche Optikmodell und die fortschrittlichen messtechnischen Algorithmen ermöglichen genaue und zuverlässige topographische Messungen von Wafern. Es ist schnell, effizient und einfach zu bedienen und zu warten, so dass es die perfekte Wahl für die Beurteilung der Qualität von Wafern in der Halbleiterindustrie verwendet.
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